产品名称：SATOVAC佐藤真空真空热处理炉立式内部加热

高温真空热处理炉<VHF>系列

■我们提供各种真空炉，以满足客户的应用，具有广泛的经验和技术。

卧式内部加热 VHF-I.-H

立式内部加热 甚高频-I.-V

卧式外部加热 VHF-E-H

真空炉的种类和结构

在真空气氛中加热的设备因温度范围而异，例如加热器材料、温度控制传感器、容器结构和材料。

按类型分类

	I型内部热量和碳	II型：内部热量、金属等	III.型外部热量
型	甚高频-I.（C）	甚高频-I.（M）	甚高频-E
加热温度范围	超高温、高温（1）、高温（2） 700~2300°C	超高温、高温（1） 1000~2300°C	高温（1）、高温（2） 700~1600°C
加热器材料	硬碳	金属加热器 （钨、钼、碳化硅）	金属加热器 （圆锥线、碳化硅）
容器材料	不锈钢：SUS304 （带水冷夹套）	不锈钢：SUS304 （带水冷夹套）	炉芯管： 氧化铝管（~1600°C）， 石英玻璃管（~1200°C）
结构

加热器材料有碳（I型）和金属（II型）两种。 碳基加热器成本低，但它们会产生细粉，因此如果需要清洁，请使用金属基加热器。 此外，在高温范围（2）中，即使在高温范围内温度也相对较低，根据加热器材料（III型），可以使用低成本的角质线或硬质合金二氧化硅材料。

由于在超高温和高温（1）中加热区域的温度较高，因此从**角度考虑，容器通常是具有双重结构的水冷夹套型（I型和II型），材料为不锈钢。

对于较小的，也可以选择III型（管式炉）形状。 容器材料为氧化铝管或石英玻璃管，有效面积为圆柱形。

温度范围和配置

*1） 钼：钼 W：钨碳化硅：碳化硅

在超高温区域，无法通过将传感器插入加热到高温的区域来测量温度，因此使用辐射温度计。 在高温范围内，将K型热电偶（铝镍铝-铬合金）插入700°C~1100°C（高温（2））的加热区域，在1000°C~1500°C（高温（1））范围内，将S，R，B型（铂铂钼合金）插入加热区域以测量温度。

冷却

有两种冷却方式：自然冷却、气体冷却、油冷却等。 如果要在短时间内冷却，可以安装单独的冷却室。

真空炉排气系统

根据真空炉的用途和压力范围选择真空泵配置。 如果需要清洁度，我们选择干泵，干泵+涡轮分子泵或低温泵。

压力范围（真空度）和真空泵

*）压力（真空度）是容器内的压力，它高于真空泵入口压力的原因是管道的阻力和容器内气体产生的影响。

驾驶操作

在设备中设置加工材料后，您可以选择自动真空排气、温升、冷却和大气压恢复（全自动操作），也可以选择单独操作每个过程的手动操作。

您可以选择只需要指定加热温度的情况，也可以选择程序控制来设置设定的温度和升温时间。

PID控制用于温度控制。

**回路：检测加热器过温、冷却水不足、真空异常等，停止加热器或完全停止加热器。