产品详情
  • 产品名称:TOKYOKEISO热式质量流量计

  • 产品型号:TC-1300
  • 产品厂商:TOKYOKEISO东京计装
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简单介绍:
详情介绍:

TC-1000/2000 是一款质量流量控制器,将气体热质量流量计与控制阀相结合。 有用于一般用途的TC-1000和用于高压的TC-2000。 不受压力和温度变化影响的质量流量测量,以高精度控制各种气体的流量。



特征

  • · 确保各种气体的恒定流速
  • · 两种气体与质量流量计一起按比例混合
  • · 各种半导体制造工艺
  • · 适用于各种分析仪器
  • · 腐蚀性气体管路的流量控制
  • · 用于新材料和器件的研发

主要规格

TC-1000 高压 TC-2000
测量流体 一般气体
流体压力 *大 0.99 MPa *大 10 MPa
流量范围 *小 0~5毫升/分钟(挪威) *大 0~500升/分钟(挪威)
*小 0~50毫升/分钟(挪威) *大 0~100升/分钟(挪威)
流量控制范围 满量程的2~100%
控制压差范围 小流量 TC-1100 : 0.06~0.3 Mpa 大流量 TC-1550 : 0.18~0.5 Mpa

(详情请参阅
技术指南。 )
1MPa范围在一次压力
的50~80%以内(详
见技术指南) )
流体温度 5~50°C
精度 1% F.S. (25°C 基底)
反应 3秒内(98%)
材料 SUS316, SHOMAX 或 SUS430, 聚四氟乙烯, 氟橡胶或 CR
过程连接 Rc1/4, 3/8, 1/2, 3/4, 1 螺钉, OD1/4, 3/8 SW, VCR, VCO 等
权力 直流 +15V 25mA 直流 -15V 320mA
外设 TM-1400 微型转换器单元


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