产品详情
  • 产品名称:TOKYOKEISO质量流量计,控制器

  • 产品型号:HM5000
  • 产品厂商:TOKYOKEISO东京计装
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简单介绍:
详情介绍:

HM5000是一款气体质量流量计。 有通用型和高性能两种类型,可根据应用和用途进行选择。




特征

  • · 流量范围广

    *小范围为 0.5 mL/min(nor),*大值为 0.400 L/min (nor)

  • · 高精度

    ±1% F.S. (高性能型)

  • · 通过混合IC提高可靠性和小型化

  • · 可选功能升级

    软启动功能(**常闭型)
    输出信号 1.5VDC

用法

  • · 一般工业流程
  • · 各种化学分析
  • · 半导体制造工艺
  • · 气体恒流控制、混合控制
  • · 设备集成

主要规格

类型
通用质量流量计 HM5122B, HM5123B 质量流量控制器 HM5172B, HM5182B HM5173B



高性能
质量流量计 HM5111B, HM5112B, HM5113B 质量流量控制器 HM5141B, HM5151B HM5142B, HM5152B HM5143B




测量对象 一般气体
口径 1/4"、3/8"、1/2"
流量范围 *大: 0 ~ 400升/分钟(挪威) *小: 0 ~ 30升/分钟(挪威)
*大: 0 ~ 400L/分钟(nor) *小: 0 ~ 5L/分钟(nor)
流体温度 5 ~ 45°C
流体压力 *大0.97MPa
过程连接 标准:软件(选件:录像机、录像机)
测量精度 ±2.0% ~ ±4.0%F.S ±1.0% ~ ±2.0%F.S


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