TOKYOKEISO东京计装超声波流量计 UCUF-06E 北崎国际贸易（北京）有限公司

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产品名称：TOKYOKEISO东京计装超声波流量计
产品型号：UCUF-06E
产品厂商：TOKYOKEISO东京计装
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简单介绍：

详情介绍：

UCUF-E系列液体超声波流量计是专为超纯水和各种化学品的小流量测量而设计的流量计，由UCUF-E检测器和SFC传感器组成。
UCUF探测器的所有接液部件均由半导体行业的PFA组成，没有容易积液的
运动部件和O形圈等机械密封。由于其理想的清洁结构，该流量计非常适合需要高度清洁的过程，例如半导体设备。
SFC传感器大大降低了流体中所含气泡的影响，这在半导体工艺、化学溶液等方面一直是一个问题。它配备了校正功能，可消除流体运动粘度的影响，以响应各种化学溶液。通过RS485通信功能可实现集中过程管理。

特征

· EMC合规标准：EN61326-1：2013 / EN61326-2-3：2013
· 符合 RoHS 标准
· 带连接器结构的可拆卸传感器电缆
· 测量高达 40 mm²/s 的高粘度流体
· 精度在指示值的 ±1% 以内（流速为 1 m/s 或更高时）
· 宽范围（典型值为 100：1）
· 理想的清洁结构检测器
· 耐腐蚀，易于安装

主要用途

· 半导体制造过程中纯水和超纯水的流量测量
· 各种化学品注入过程的流量测量
· 高腐蚀性液体的流量测量
· CMP 浆料流量测量
· 其他小~中径过程液体流量测量
· 适用于清洁设备和CMP设备的流量测量和控制

主要规格

探测器规格

格式	UCUF-04E/06E
测量对象	一般液体（没有气泡的液体，混合物必须均匀溶解）
流量范围	04E： 0 ~ 50毫升/分钟（小值） 0 ~ 3000毫升/分钟（大值） 06E： 0 ~ 400毫升/分钟（小值） 0 ~ 8000毫升/分钟（大值）
流体声速	1000 ~ 2200米/秒
流体运动粘度	0.3 ~ 40毫米²/秒
流体温度	+10 ~ 60°C
流体压力	0 ~ 0.5MPa
材料	阀体（接液部件）材料：新型PFA（不含PFOA）传感器/电缆帽材料：PP盖密封材料：氟橡胶
过程连接	PFA 管端

兼容的变送器

格式	SFC3000
输入	传感器信号：专用电缆（BNC 连接器）
脉冲输出	可选频率脉冲输出、集成脉冲输出或故障输出集电极开路额定负载：DC30V，15mA 以内・频率脉冲输出占空比： 1 ： 1 脉搏率： 0 ~ 1000Hz （满量程）・集成脉冲输出单元：×0.1mL、×1mL、×10mL、×1L 脉冲宽度：0.5毫秒、50毫秒、100毫秒・故障输出（传感器或检测器异常时的输出）常开，常闭可选
电流输出	DC4~20mA负载电阻：500Ω以内
低截止值	0 ~ 25% F.S
通信	内置RS485通讯协议：MODBUS*多可连接32台设备
权力	直流24V±10%
结构	IP20 （室内）
建立	导轨安装

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产品名称：TOKYOKEISO东京计装超声波流量计

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