特征

• 01. 1台即可实现全封闭、电导调整。
• 02.可从差压状态（真空-大气压）开启。
• 03.由于采用电机直接驱动机构和高精度减速机，位置精度的再现性**。
• 04. 根据控制方式，可以进行开度调整、速度调整等各种动作模式。
• 05.适用于高流量排气，耐久性优异。
• 06.可通过角度显示指示器从外部检查圆盘的位置。
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规格

口径	25A 至 250A
泄漏量	1×10 -9 Pa・m 3 /s以下
使用面积	10 5至 10 -5 帕
圆盘密封	氟橡胶O型圈
轴封	氟橡胶O型圈
接液部分材料	SUS304
指标	带角度外显指示器
驱动系统	交流伺服电机（三菱电机MR-J4系列）
选项	打开/关闭检测光电传感器

*我们也可以生产特殊规格的产品。

*盘封和轴封的标准材质为氟橡胶，但也可根据用途选择其他材料。

**大速度设置由阀门决定。

* 请选择符合规格的伺服放大器。

*由于改进，本规格如有更改，恕不另行通知。