产品详情
  • 产品名称:日本FUJI-US富士工业单组分浓度计

  • 产品型号:FUD-1 型号-130
  • 产品厂商:FUJI-US富士工业
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简单介绍:
该型号定位为FUD-1 Model 13的**型号,可满足高精度和高稳定性测量等客户需求
详情介绍:
日本FUJI-US富士工业单组分浓度计FUD-1 型号-130





单组分浓度计的特点

Model-130是强调测量浓度稳定性的概念模型,在半导体制造工艺等需要高精度、高稳定性浓度计的情况下非常有效。

优点

  • 实现高精度的连续测量
  • 无需定期调整或校准,免维护
  • 安装简单,安装时无需进行各种调整
  • 实时输出,便于反馈到过程

  • CMP工艺中的CMP浆料或氧化剂浓度控制等
  • 控制稀释过程中的各种化学浓度(H2O2、四甲基氢氧化铵、HNO3、H2SO4、HCl 等)
  • 控制清洗过程中的清洗液浓度(HF、NH4OH、KOH、IPA 等)
  • 控制蚀刻过程中的蚀刻液浓度(HF、H2SO4 等)



规范

格式 FUD-1 型号-130
测量参数 超声波传播速度和温度
指示 LCD(浓度、温度、声速/各种参数)
输出信号 模拟DC4~20mA(浓度值可任意设定) 数字RS232C(浓度、温度、声速、错误代码)

报警上限和下限 测量异常
权力 AC100V~240V 50/60Hz 30VA (也可使用DC24V)
结构 面板安装(符合 DIN 标准)
功能 输出范围设置功能、报警输出设置功能、浓度显示移动平均功能、浓度显示偏移和增益设置功能、自诊断功能、故障**功能、异常值消除功能
选择 温度输出(DC4~20mA)
渠道 高达 10Ch
电缆 6米
接液部件材料 全氟橡胶涂料
关节 有多种公称直径1/2~1英寸可供选择。
测量环境 转炉
10~40°C
相对湿度85%以下
发射机 5~45°C
测量的流体温度 0~50°C
压力 0.3兆帕
流量 5升/分钟以下


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