产品详情
  • 产品名称:日本FUJI-US富士工业多组分浓度计

  • 产品型号: FUD-1 型号-53
  • 产品厂商:FUJI-US富士工业
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简单介绍:
在保持FUD-1 Model-53的可维护性和高精度在线测量等优点的同时,该型号还具有用于半导体制造工艺的小型电池发射器。
详情介绍:


日本FUJI-US富士工业多组分浓度计 FUD-1 型号-53




多组分浓度计的特点

可实现3个组分的实时双组分浓度计侧

  • 标配模拟DC4~20mA(2个系统)和数字RS232C
  • 测量误差输出和报警输出为标准设备
  • 标配自诊断功能和错误信息显示
  • 紧凑轻便的电池变送器可直接安装在生产线上
  • PFA接液部件材料,小输出设计对化学液体没有影响。

优点

  • 实现高精度的连续测量
  • 无需定期调整或校准,免维护
  • 安装简单,安装时无需进行各种调整
  • 实时输出,便于反馈到过程

  • 控制CMP工艺中的CMP浆料和氧化剂浓度等
  • 控制清洗过程中的清洗液浓度等(HF+HNO3、HF+H2SiF6等)
  • 蚀刻过程中的蚀刻液浓度控制等(TMAH + 抗蚀剂、TMAH + Si等)



规范

FUD-1 型号-53
转炉
测量参数 超声波传播速度、温度、电导率
指示 LCD(浓度1,浓度2,温度,声速,电导率/各种参数)
输出信号 模拟DC4~20mA:2个系统(可自由设置浓度值) 数字RS232C(浓度1,浓度2,声速,温度,电导率,错误代码)

报警上限和下限 测量异常:2个系统
权力 AC100V~240V 50/60Hz 30VA (也可使用DC24V)
结构 面板安装(符合 DIN 标准)
环境温度变送器 0~50°C
相对湿度 85% 或更低(无冷凝)
功能 输出范围设置功能、报警输出设置功能、浓度显示移动平均功能、浓度显示偏移和增益设置功能、自诊断功能、故障**功能、异常值消除功能、温度时间常数校正
选择 温度输出(DC4~20mA)RS485输出(不能与RS232C同时输出)
通道(校准曲线) *多 7 路
兼容变送器示例 SA-20S29+ 电导率仪, SA-20S27+ 电导率仪


发射机
SA-20S29+ 电导率仪
SA-20S27+ 电导率仪
振动元件 PZT(2MHz)x1 PZT(2MHz)x2
测量元件 热敏电阻 热敏电阻
测量的流体温度 0~100°C 0~80°C
结构
接液部件材料 全氟辛烷磺酸/全氟辛烷磺酸涂层 聚苯乙烯
拟 合 3/4 接头(可更换) 3/4 接头(可更换)
压力 0.3兆帕 0.3兆帕
 流量 5升/分钟(推荐) 5升/分钟(推荐)
 重量 2.5公斤 2.5公斤
电缆 专用电缆 6m 专用电缆 6m
环境温度 5~45°C  5~45℃





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