产品详情
  • 产品名称:日本USHIO牛尾分割投影光刻机

  • 产品型号:UX-5系列
  • 产品厂商:USHIO牛尾
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简单介绍:
Ushio一直致力于为服务器、PC、智能手机、平板电脑等便携设备提供*先进的封装应用工艺。 Ushio在长年培养的光源·光学技术上采用独自的大面积投影透镜技术,是面向采用与面板尺寸对应的工件台面的封装基板的步进式投影光刻设备。 在实现*顶端封装基板所要求的高解像性和重叠精度的同时,实现高生产性。
详情介绍:

日本USHIO牛尾分割投影光刻机UX-5系列



Ushio一直致力于为服务器、PC、智能手机、平板电脑等便携设备提供*先进的封装应用工艺。

Ushio在长年培养的光源·光学技术上采用独自的大面积投影透镜技术,是面向采用与面板尺寸对应的工件台面的封装基板的步进式投影光刻设备。

在实现*顶端封装基板所要求的高解像性和重叠精度的同时,实现高生产性。


  • 搭载超高压UV灯
  • 值得称赞的高度均一的照射光学系统
  • 为数不多的大面积投影镜头


     


主要用途:



  • FC-BGA

  • FC-CSP

  • interposer

  • 2.1D

  • 2.5D

  • 封装

  • 半导体后段工艺

  • RDL

  • Passivation

  • TSV

  • 印刷基板






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