产品名称：日本USHIO牛尾紫外线光阻剂硬化／CHARGE ERASE装置

• 高照度、均一度照射
• 初期照度是650mw/cm2以上（220～320nm）、且照度均匀度保证在±10%。

• 采用依据SEMI规定之装载接口的EFEM（φ12寸装置）
• φ12寸用装置、采用装载接口(依据SEMI) 的EFEM、
• 以及搬运系统 采用无尘快速的2Finger搬运机器人、以达到高Throughput。

• 采用WindowsNT PC的高操作性与以GEM300为准（φ12寸装置）
• φ12寸用装置采用Windows NT PC，达到**的操作性。亦符合GEM300规定。

• 灯管装置更换容易
• 灯管更换时无须调整，并降低装置的停机时间。

• 配备照度一定方式与积累计算曝光方式（φ12寸装置：选购配备）
• 使用照度一定方式、并积累计算曝光方式、达到制程的稳定化与一致化。

• 丰富的产品系列
• 对应φ6寸用装置（可与φ5寸以下共用）、φ8寸用装置（ 可与φ6寸以下共用）、
• 以及φ12寸专用装置等所有工具匣。此外，亦备有准分子(Excimer)灯的φ8寸用装置。

2Finger搬运机器人

灯光装置

• 提高乾蚀时的耐电浆性

• 离子注入时的阻剂脱气及烧入

• 电荷消除与消除疲乏

• Low-k Cure

• 薄膜磁头之层间绝缘膜形成

• 化合物半导体的Lift-Off工程

• 表面改质

• CCD与CMOS影像仪的去色(bleaching)等