产品详情
  • 产品名称:日本USHIO牛尾半导体制程用UV固化设备

  • 产品型号:
  • 产品厂商:USHIO牛尾
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简单介绍:
外线照射设备在LSI制造生产线和内存制造生产线
详情介绍:

日本USHIO牛尾半导体制程用UV固化设备

  • 主要用途
  • 驱动蚀刻时的耐等离子性的提高

  • 去除电荷

  • 离子注入时的固体脱气及烧结

  • 绝缘膜的形成

  • 化合物半导体脱离工序

  • CCD、CMOS截图

  • 提高湿蚀刻性&镀金性

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