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产品详情
简单介绍：
接触式/接近式曝光装置。 牛尾是R&D用装置专门公司Mikasa在中国头个总代理店。
详情介绍：
日本USHIO牛尾MIKASA光刻机MA-10B
设备视频：https://v.youku.com/v_show/id_XNTk0NzU5MzczNg==.html
产品特征：
●机械手平台可移动±50 mm，便于对齐
●在可移动的部件上设置传感器，防止误操作
●更轻量化的设计 ※与本公司的MA-10比较
●防止面罩掉落的抽板※根据面罩玻璃规格制造
●适配不规则尺寸的基板*根据基板样式真空吸附
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各种曝光研究（硅胶、玻璃、化合物）
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