产品名称：日本USHIO牛尾准分子灯

日本USHIO牛尾准分子灯126nm／146nm／172nm／222nm／308nm

【126nm／146nm／172nm／222nm／308nm】

封入氙气的准分子(Excimer)灯，（诱电体屏障放电Excimer灯）

可有效放射波长180nm以下的VUV，（真空紫外线）

达到快速的化学反应与反应速度。

特征：

• 单一波长、低温处理
• 因为是单一波长，因此可选择会引起化学反应的紫外线，
• 并可达到不使对象物产生非必要反应或热的低温处理。

• 高效率
• 从电力转换为光能源的效率高（172nm型的转换率10%)，
• 即使低电力亦可产生大的能量。

• 可瞬间亮灯灭灯
• 仅于必要时照射必要量的能量，
• 因此具备「不需要快门」、「实际上可延长使用寿命」等各种优点。

• 安装方向不受限制
• 灯的亮灯方向不受限制，可配合生产线做立面照射。

分光分布

半导体制程用装置实例

液晶制程用装置实例

主要用途：

• HDD光碟洗净

• 阻剂剥离

• 阻剂残渣的剥离

• 塑料基板的洗净

• 金属表面的清洗与重组

• Low-k Cure

• PDP萤光体评估

• 分析评估前的洗净

• 气体分解

• 形成氧化膜

• 防止带电

• 干燥

• 玻璃胶膜的贴合

• 纤维的改质

• 有机EL封装管的接合性提高

• 有机EL的工作函数増加