PS-7系列
特长
●实现了产品的小型化与轻量化
与以往的COSMOS品牌气体检测部相比，新的COSMOS品牌气体检测部实
现了产品的小型化与轻量化，新产品只有原产品体积与重量的二分之一
●通过LCD（发光二极管）显示便利机器的运转状态一目了然
通过LCD（发光二极管）显示部，清楚地显示出使用时气体浓度，报警状态，
错误信息等。
机器的运行状态由此一目了然。
●附带防止误插入传感器组件的功能
当插入与设定的气体种类不同的传感器组件时，机器会迅速报告异常。
●附带采样流量的自动控制功能
日常检查的流量检查由此变得不再需要
●对传感器组件采样组件提供支持将变得简单
●通过将转换器组件与定电位电解式传感器进行组合，
也可检测NF3气体。
●实现了通过掌上电脑（PDA）来读取数据。
●已经获得了各种规格认证
CE规格,SEMI规格
●可以进行多种多样的维修保养模式的设定
可按照维修保养中的用途对模拟内容进行切换。
新宇宙（COSMOS）式气体检测部的特长
1.传感器组件是在已经经过校正后送到现场的，在更换传感器组件时，只要
进行归零确认以及动作确认便将进入监视状态，因此不会把污染气体带入
洁净室。
2.卸下的传感器组件可以在再生工序中再生使用，因此，与以往方式相比，能
以比较低廉的价格予以使用。
3.可以不使用工具来更换那些需要定期更换的传感器组件与采样组件。
4.功能尾零件全部为组件形式，因此，更换组件可以在较短的时间内进行。
5.通过敝公司的管理系统，可以在更换传感器组件与采样组件时候为客户提
供帮助，由此做到了安心管理。
■ CE规格SEMI规格适合
规格
※1 推荐使用特氟隆。但是如果是吸附性较强的气体时，根据使用情况的不同也将有所差异，因此，请向本公司进行咨询。产品有可能改进而对上述规格进行修改，对此恕不预先通知用户。
※2 **于附带转换器的产品
