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在诸如IPA、纯水、药水等的半导体制造工序中
来自1ml / min的微流量测量
通过数字信号处理的微流量高精度测定
传感器部分是流体非接触结构
广泛的租赁
μf - 300s(传感器分离型)产品规格
型号为μlf - 300s +μlt - 8i(1 / 8)或μlf - 300s +μl - 4i(1 / 4)
超音波
测定液体纯水,各种药水
*水以外的液体的情况请事先确认。
适应流体温度范围15℃~ 80℃
* 60℃以上使用时,请事先确认您
流体压力:0.5 mpa以下
流体黏度:100 mm ^ 2 / sec以下
流量范围
0 ml/min ~ 1000ml / min(μlf - 300s +μlt - 8i)
0 ml/min ~ 4000 ml/ min(μlf - 300s +μlt - 4i)
测量精度±0.5%(1 / 8:200 ~ 1000ml/ min条件:室温,恒温的水)
±1ml/ min(1 / 8):0 ~ 199ml/min
±0.5%(1 / 4):800 ~ 4000ml/ min条件:室温,恒温的水
±4ml/ min(1 / 4):0 ~ 799ml/min
反复性±0 . 2 %(纯液温±0 . 5℃,30秒平均值)
电源dc 24v±10%
耗电3.6 w以下
重量转换器240 g,检测单元70g
尺寸w x h x d(mm)转换器97 x 49 x 127
检测部90x25x 20(不包括内线)
检测部
软管材料PFA(氟树脂)
内胎直径1 / 8寸:3.17 mm,id:2.17 mm,1 / 4寸OD:6.35 mm,id:4.35 mm
结构上的ip65
附属电缆5米,连接器连接
输入/输出部分
数字输出4线式- 422,4线式r -485
模拟输出4 - 20 MA(瞬间流量),负荷抵抗500Ω以下
计算脉冲输出1ch(开放库塔)
警报输出1ch(开放的库拉)
接点输入1ch(零流量设定或累计**)
键入4输入按钮