HS-3412/3425位移传感器与专用的计数器HG-4370组合,使用本公司独自开发的位移信号处理技术,可以进行高分辨率(0.05 μm)及高精度(±0. 5 μm)的尺寸测量。
如测量透镜或硅片的厚度、精加工零件尺寸或精密金属模的尺寸。
HS-3412/3425 传感器的测量力很小,为0.6 N。另外,防尘能力软强(保护等级:IP 50)。HG-4370 计数器的特点:由于采用大型LED,显示值鲜明易见,并且具有分辨率更换功能/ 偏置功能/ 系数功能/ 峰值保持功能等多种功能。另外、有选购件专用打印机。
特点
高分辨率:0.05 μm,高精度:±0.5 μm
强防尘构造(保护等级IP50)
采用大型LED,显示值鲜明易见(文字高度:14 mm)
偏置功能/ 系数功能/ 峰值保持功能(*大、*小、范围)
与位移传感器配合,可用专用打印机打印
规格■ HS-3412/3425位移传感器
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HS-3412
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HS-3425
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量程
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12 mm
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25 mm
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分辨率
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0.05 μm
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显示精度(在+20℃)
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±0.5 μm
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測定力(向下)
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0.6 N
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灰尘保护等级
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IP 50
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柱径
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φ 8 h 6 mm
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*大响应速度(注1)
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0.2 m/s
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供给电源
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DC 5 V ± 5 %
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消耗电流
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20 mA 以下
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使用温度范围
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0 ~40℃
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电缆长度(注2)
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2 m
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重量
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200g
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220g
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附件
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指针升降器、测定子交换针、转杆保护帽
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选购件
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SH-022 位移传感器支架
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注1:专用计数器(HG-4370)使用时的*大响应速度。
注2:电缆不能延长。
HS-3412/3425 リニアゲージセンサは、専用ゲージカウンタHG-4370 と組合わせ、当社独自のリニアゲージ信号処理技術により、高分解能:0.05 μm、高精度:±0.5 μm の測定を可能にします。
高い分解能での寸法測定が必要とされる、レンズやシリコンウェーハなどの厚さ測定や、精密加工部品・精密金型の寸法測定に威力を発揮します。
HS-3412/3425 センサの測定力は0.6 N と軽く、また、 ほこりに強い構造(保護等級:IP 50)を実現。 HG-4370 ゲージカウンタは、表示値が見やすい大型LED を採用し、分解能切替機能/オフセット機能/ファクタ機能/ピークホールド機能と多機能です。また、測定値は別売の専用プリンタに印字が可能です。
特長
高分解能:0.05 μm,高精度:±0.5 μm
ほこりに強い構造(保護等級: IP50)
表示値が見やすい大型LEDを採用(文字高さ:14 mm)
オフセツト機能/ファクタ機能/ピークホールド機能(MAX,MIN,RANGE)
リニアゲージセンサと組合わせにて専用プリンタに印字が可能
概略仕様
■HS-3412/3425 リニアゲージセンサ
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HS-3412
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HS-3425
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測定範囲
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12 mm
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25 mm
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分解能
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0.05 μm
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指示精度(+20℃において)
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±0.5 μm
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測定力(下向き)
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0.6 N
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保護等級
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IP 50
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ステム径
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φ 8 h 6 mm
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*大応答速度*1
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0.2 m/s
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供給電源
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DC 5 V ± 5 %
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消費電流
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20 mA 以下
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使用温度範囲
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0 ~40℃
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ケーブル長*2
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2 m
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質量
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200g
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220g
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付属品
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フィンガーリフト、測定子交換用ピン、スピンドル保護用キャップ
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