产品列表
  • BROOKS 布鲁克斯 质量流量控制器 GP200 系列是业界首款完全不敏感、基于压力的质量流量控制器 (P-MFC),专为半导体制造中的**蚀刻和沉积工艺而设计。 查看详情
  • BROOKS 布鲁克斯 弹性体密封质量流量计 它专为满足吹扫气体、过程分析和分析流量测量的需求而设计,具有成本效益和稳定性,其电子输出信号可替代涡轮流量计、基于面积的流量计和其他体积流量计。 查看详情
  • BROOKS 布鲁克斯 质量流量控制器 4800 系列控制器/仪表的主要优点:先进的 MEMS 热传感器具有专用的 PID 算法,该算法针对控制阀的响应进行了优化,使 4800 系列控制器能够在高速下跟踪实际流量,即使设定值任意更改也是如此。 可选的本地操作员界面 (LOI) 是一个方便的用户界面,用于查看、控制和配置设备,而无需远程辅助电子设备。 查看详情
  • BROOKS 布鲁克斯 质量流量控制器 4800 系列控制器/仪表的主要优点:先进的 MEMS 热传感器具有专用的 PID 算法,该算法针对控制阀的响应进行了优化,使 4800 系列控制器能够在高速下跟踪实际流量,即使设定值任意更改也是如此。 可选的本地操作员界面 (LOI) 是一个方便的用户界面,用于查看、控制和配置设备,而无需远程辅助电子设备。 查看详情
  • BROOKS 布鲁克斯 质量流量计 无论是灰尘、湿度、极端温度还是湿气,SLAMf 系列弹性体密封热式质量流量控制器和流量计都能提供久经考验的 SLA5800 系列流量计和控制器的高精度和长期稳定性。 专门设计的 NEMA 4X/IP66 级外壳可保护先进的数字电子设备,并为过程关键气体/流体质量流量提供稳定、准确的测量和控制。 查看详情
  • BROOKS 布鲁克斯 质量流量计 无论是灰尘、湿度、极端温度还是湿气,SLAMf 系列弹性体密封热式质量流量控制器和流量计都能提供久经考验的 SLA5800 系列流量计和控制器的高精度和长期稳定性。 专门设计的 NEMA 4X/IP66 级外壳可保护先进的数字电子设备,并为过程关键气体/流体质量流量提供稳定、准确的测量和控制。 查看详情
  • BROOKS 布鲁克斯 质量流量计 无论是灰尘、湿度、极端温度还是湿气,SLAMf 系列弹性体密封热式质量流量控制器和流量计都能提供久经考验的 SLA5800 系列流量计和控制器的高精度和长期稳定性。 专门设计的 NEMA 4X/IP66 级外壳可保护先进的数字电子设备,并为过程关键气体/流体质量流量提供稳定、准确的测量和控制。 查看详情
  • BROOKS 布鲁克斯 流量计 无论是灰尘、湿度、极端温度还是湿气,SLAMf 系列弹性体密封热式质量流量控制器和流量计都能提供久经考验的 SLA5800 系列流量计和控制器的高精度和长期稳定性。 专门设计的 NEMA 4X/IP66 级外壳可保护先进的数字电子设备,并为过程关键气体/流体质量流量提供稳定、准确的测量和控制。 查看详情
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