SURUGASEIKI骏河精机|北崎国际贸易（北京）有限公司

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SURUGASEIKI骏河精机带编码器高精度滑台内置编码器全闭环控制，带编码器的高精度定位滑台。通过专用驱动器对5相步进马达及光栅尺进行反馈控制，实现高精度定位。 20um栅距的栅尺通过细分电路进行细分，*高分辨率可达2.5nm; 【分辦率2.5nm、5nm、10nm、20nm、50nm、100nm 可选】新增直动滑台9个机型，水平面Z轴滑台3个机型。查看详情
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