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文章详情
OTSUKA大塚Load Port对应膜厚测量系统 GS-300
日期：2026-09-17 11:57
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摘要：Load Port对应膜厚测量系统 GS-300
特点
● Φ支持到300mmEFM单元备用端口的集成
● 实现嵌入在晶片中的布线图案的图案对齐
● 支持半导体工艺的高吞吐量要求
● 支持槽口对齐功能
● 小尺寸规格
● 高精度自动校准单元
测量示例
TSV嵌入式图形晶圆研磨后的硅厚度
晶圆厚度Φ300mm尺寸
