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EBARA荏原干式真空泵EV-M805SF 北崎有售

日期：2025-05-02 04:41

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摘要：EBARA荏原干式真空泵 EV-M805SF，北崎热卖，欢迎咨询。

产品介绍

以荏原**高温技术，在半导体、液晶和太阳能电池制造工艺中，满足发生反应副产物的高负荷工艺要求。通过高度的节能性能，同时满足高负荷工艺要求和节能要求。标配耐腐蚀性材料，提供110,000L/min的大排气量机型。通过满足工艺条件要求的丰富产品阵容，能够满足大范围的高负荷工艺要求。

规格

设备名称		单位	EV-M20N	EV-M102N	EV-M202N	EV-M302N	EV-M502N	EV-M505SF	EV-M802N	EV-M805SF	EV-M1205SF
排气速度		L/min	1,800	10,000	20,000	30,000	50,000	50,000	80,000	80,000	110,000
极限压力		Pa	5.0	0.5	0.5	0.5	0.5	0.5	0.5	0.5	0.5
连接口径	吸气口		NW40	ISO100	ISO100	ISO100	ISO160	ISO160	ISO200	ISO200	ISO200
连接口径	排气口		NW40	NW40	NW40	NW40	NW40	NW40	NW40	NW40	NW40
极限压力时功率概值		kW	1.2	1.8	1.9	2.3	2.1	3.9	2.8	4.6	5.3
冷却水	流量	L/min	3~8	3~8	3.5~8	4~8	5~8	5~8	5~8	5~8	5~8
冷却水	温度	℃	Max. 30	Max. 30	Max. 30	Max. 30	Max. 30	Max. 30	Max. 30	Max. 30	Max. 30
N2	流量	Pa•m3/s	26~31	26~31	26~31	26~31	28~33	228	28~33	228	34~35
电源　相／电压／频率	200V机型		三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz	三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz	三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz	三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz	三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz	三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz	三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz	三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz	三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz
电源　相／电压／频率	400V机型		三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz	三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz	三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz	三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz	三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz	-	三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz	三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz	三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz
电源容量		kVA	3.3	5.4	6.0	6.8	7.1	15.7	8.3	19.4	14.2
质量概值		kg	170	320	360	400	500	580	740	820	870

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