Mitutoyo三丰 超高精度三坐标测量机的工作原理

产品特点与优势

LEGEX系

列是初项

达0.28μm的高精度CNC三坐标测量机，对所有可能产生误差的因素进行严格分析并排除或*大程度地降低其影响

。

● 本体底座部分严选材料，采用密封结构以实现高刚性、高衰减性。采用FEM结构解析模拟进行彻底的应力分析，保证了几何运动精

度，使负荷及其它变量波动造成的误差降至*小。此外，还引入了各种技术来实现超高精度，如驱动单元的结构和振动对策等

。

● 用于位置检测的长度测量单元配备了超高精度测量单元（自社开发），该单元采用热膨胀系数为≒0的超高精度微晶玻璃尺和高分辨

力、高性能反射线性编码器的组合，具有极高的位置检测能力，可实现超高精度的机器控制功能。此外，提供丰富的选件，包括触发式

和非触发式测头，数据处理部等支持各种工件轻松实现高精度测量。

原理：

CMM的工作原理基于三点定位原理和三维坐标系。它配有一个可作三个方向移动的探测器，该探测器能在三个相互垂直的导轨上移动，以接触或非接触的方式获取被测物体表面点的坐标信息。将被测物体置于CMM的测量空间内，探测器通过扫描物体表面，记录下各测点的三维坐标值。随后，这些坐标值经过计算机数据处理，拟合形成测量元素（如点、线、面、圆等），并通过数算得出被测物体的几何尺寸、形状和位置误差。