osakavacuum大阪真空腐蚀性气体泵送干泵ER100DC

日期：2026-02-07 05:32

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摘要：osakavacuum大阪真空腐蚀性气体泵送干泵ER100DC

osakavacuum大阪真空腐蚀性气体泵送干泵ER100DC

ER系列：节能多级根泵

ER系列通过其独特的转子设计和怠速功能实现了世界**的节能和紧凑性能。凭借耐腐蚀选项，ER系列可在轻型领域如负载锁和SEM到腐蚀工艺等广泛应用中运行。

ER100D/ER100DC

-ER100D/ER100DC在能源效率、轻便和紧凑性方面均为同级*佳之一。
极限压力下
能耗：400W
占地面积：0.11米2
重量：60公斤

- 有两种类型可供选择。

ER100D：用于轻负载、非腐蚀性气体泵送
ER100DC：采用防腐材料，用于腐蚀性气体泵送

应用

- 清洁排气
系统 - 溅射系统
- TMP
的后备真空泵 - 负载锁定与转移室
- 小型实验室系统
- 小型炉子
- 分析设备
- 离子源，电子枪

[对应气体]
某些需要抽空的气体可能会损坏泵。
请联系大阪真空，获取适用的燃气类型列表。