新闻详情

osakavacuum大阪真空溅射沉积用干式真空泵FR060D

日期:2026-02-07 05:32
浏览次数:22
摘要:osakavacuum大阪真空溅射沉积用干式真空泵FR060D

osakavacuum大阪真空溅射沉积用干式真空泵FR060D

osakavacuum大阪真空溅射沉积用干式真空泵FR060D


FR060D

FR060D

启用大气压作。
大气压量为800升/分钟。
-启用水蒸气传递。
蒸汽耐受度为500克/小时。
-缩短蒸发时间。
容量流量800升/分钟,压力范围宽,达到极限压力。
——风冷。


应用

- 小型实验室系统
- 载锁和转选室
- 分析装置
- 真空夹头
- 加速排气
- 封装、密封
- 离子源、EB枪
- 干燥
- 溅射沉积
- 小型炉子
- TMP备份真空泵


模型 FR060D
体积流量(L/min) *大值 1000
常数 800
基压(Pa) 无气体压载 1.0
配气压载 2.0
连接 入海口 KF(NW)40
出口 KF(NW)40
*大蒸气耐受度※1(g/hr) 500
润滑油量(毫升) 90
功耗(千瓦) 基压下 1.1
*大值 1.3
电源 电压(V) 200-240
频率(Hz) 50/60
阶段 单曲 / 三
可容忍电压波动※2 ±10%
功率容量(kVA) 3.0
电流(A) 单相 11.1
三相 6.5
冷却系统 风冷
体重(公斤) 75
环境温度(°C) 5-40

 

*1 它是气体压载物“开启”时*大处理量的单位。
*2 如需特殊规格,请联系大阪吸尘器。


京公网安备 11030102010384号