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ULVAC带差动排气系统四极杆质谱仪YTP-H

日期:2025-07-06 20:29
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摘要:ULVAC带差动排气系统四极杆质谱仪YTP-H
ULVAC带差动排气系统四极杆质谱仪YTP-H

ULVAC带差动排气系统四极杆质谱仪YTP-H


高压工艺型号:Qulee with YTP-H 真空规格 (1, 10, 100, 500, 3000Pa)

爱发科

型号:Qulee with YTP-H 真空规格 (1, 10, 100, 500, 3000Pa)

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型号:Qulee with YTP-H 真空规格(1、10、100、500、3000Pa)支持页面
带差动排气系统套件的四极杆质谱仪(带 YTP-H 的 Qulee)旨在满足 ULVAC 在 Qulee 领域的丰富经验并满足客户需求,具有增强的功能和易用性。
它可以用于广泛的目的,从过程控制和残余气体分析到各种真空设备的研发。

长处

  • 多功能规格,出色的性价比 差速排气系统可在单个单元中实现过程监测和残余气体分析 (RGA)
  • 紧凑的设计 紧凑的设计,带有标准的排气装置 桌面 YTP
  • 内置显示器设计无需 PC 即可进行测量
  • 易于使用的一键式功能(每个人都可以轻松,无需复杂的作)
  • 指定压力可从 3000 Pa、500 Pa、100 Pa、10 Pa 和 1 Pa 中选择
  • 可选择测量质量范围 1 ~ 100 (BGM2-101 / 102)、1 ~ 200 (BGM2-201 / 202) 和 1 ~ 300 (HGM2-302)
  • 低噪音:运行噪音为 43 dB(A) 或更低的低音设计
  • 无需真空计的专用显示器:可以捕获真空计的信号并显示在作屏幕上(真空计是可选的)
  • 增强的泄漏测试功能 可进行氦气泄漏测试、空气泄漏测试和粘附测试。
  • Qulee QCS Ver4.2 或更高版本,标配以太网兼容软件(兼容 Windows 8/10/11)

  • 用于研发应用的气体分析
  • 溅射设备、真空沉积设备等工艺中的气体监测器
  • 溅射设备、真空沉积设备等的残余气体分析
  • 高真空排气系统的残余气体分析
  • 检查真空渗碳炉的终点和氧气浓度
  • 检查冷冻干燥机中的干燥点和杂质

规范

气体分析仪本体 从 Qulee BGM2-101 / 102 / 201 / 202、HGM2-302
中选择* 有关 Qulee 本体的规格,请单独参考各个目录
软件 Qulee QCS Ver4.2 或更高版本(兼容 Windows 8/10/11)
*大采样压力 从 3000Pa / 500Pa / 100Pa / 10Pa / 1Pa 中选择
真空规格 气体引入系统
(3000 ~ 1Pa 规格)
手动波纹管阀 (2 系统:孔流管路 / 直接管路) 接头
法兰 : ICF070
*大采样压力 从 3000Pa / 500Pa / 100Pa / 10Pa / 1Pa 中选择一种
可变泄漏阀规格 采样压力 大气压力~1e-3Pa 可通过手动调节来控制
排气装置 台式YTP
平板电脑(YTP70A-D)
涡轮分子泵 抽速 70 L/s (N2)
干泵(粗抽型) 抽速 20 L/min(隔膜式)
电源电压 交流100-240V
附属品 包括 AC100V 电源线 *1、DesktopYTP 底座 *2、Qulee 用 AC 适配器、Qulee 用 LAN 电缆(3m)、软件安装盘、法兰固定螺栓组、垫圈(ICF114G、ICF070G)、各种固定螺钉
选择 电离真空计套装(SH200-1 电离真空计、测量元件电缆 2m、交叉配管、螺栓组、垫圈)、USB-LAN 适配器、交换集线器(8 端口/16 端口)*3、地板推车套装 *4

*1 AC100V 在日本以外的环境中使用时,请单独购买电源线。
*2 请务必在安装 DesktopYTP 时使用。
*3 交换集线器需要单独的 AC 适配器。
*4 落地车组由客户组装。


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