ULVAC爱发科残余气体分析仪BGM2-102

日期：2025-07-06 20:29

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摘要：ULVAC爱发科残余气体分析仪BGM2-102

ULVAC爱发科残余气体分析仪BGM2-102

基本流程型号：BGM2-101 / 102

爱发科

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简单性和易用性与 ULVAC 的新型残余气体分析仪（RGA）相结合。这是过程监控新标准的出现，它体现了各种生产线上设备工程师的声音。它非常适合真空沉积设备和各种真空炉的设备管理。

分辨率：M/△M=1M（10% P.H.）

型	BGM2-101 系列	BGM2-201 型	型号 BGM2-102	BGM2-202 系列
质量分离法	四极杆质谱仪
质量数范围	1~100 阿姆	1~200 AMU	1~100 阿姆	1~200 AMU
探测器	法拉第杯		二次电子倍增管法拉第杯
敏感性	10^-7A/Pa		4A/Pa
*小感应分压	10^-8帕		10^-12帕
*大工作压力	1x10^-2帕
总压力测量功能	和
一键功能	是/他/_H2O/_N2/_O2/任何气体
一键式泄漏检查	和
电源电压	DC24V±10% 50W
*高烘烤温度（连接传感器单元时）	120°C
*高烘烤温度（拆下传感器单元时）	250°C
工作温度范围	10~40°C
软件	Qulee QCS Ver4.2 或更高版本（兼容 Windows 8/10/11）
法规遵从性	CE