ULVAC爱发科残余气体分析仪CGM2-051

日期：2025-07-06 21:18

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摘要：ULVAC爱发科残余气体分析仪CGM2-051

ULVAC爱发科残余气体分析仪CGM2-051

溅射工艺型号：CGM2-051 / 052

爱发科

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型号：CGM2-051 / 052 介绍、购买和考虑

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爱发科的新型残余气体分析仪和过程气体监测仪（RGA）在高压（小于 1 Pa）下具有高精度和高分辨率，具有简单性和易用性。
这是过程监控新标准的出现，它体现了各种生产线上设备工程师的声音。
它是溅射设备的过程控制（质量改进、产量提高）的理想选择。

M/△M=1M（10% P.H.）

型	CGM2-051	CGM2-101 系列	CGM2-052	CGM2-102 系列
质量分离法	四极杆质谱仪
质量数范围	1~50 阿姆	1~100 阿姆	1~50 阿姆	1~100 阿姆
探测器	法拉第杯		二次电子倍增管/法拉第杯
敏感性	0.1uA/帕		0.1mA/帕
*小感应分压	1x10^-7帕		1x10^-10帕
*大工作压力	2蹲		2Pa（FC）1x10^-2帕斯卡（SEM）
线性	1帕
总压力测量功能	和
DEGAS 功能	是 / 电击分离方式，300V / 5mA
一键式泄漏检查	是 / He /_H2O / N₂/ O₂/ 任何气体
电源电压	DC24V±10% 50W
*高烘烤温度（连接传感器单元时）	120°C
*高烘烤温度（拆下传感器单元时）	250°C
工作温度范围	10~40°C
接口	以太网
软件	兼容 Qulee QCS Ver.4.2 或更高版本（Windows 8/10/11）
法规遵从性	CE