新闻详情

LINTEC林泰克使用温度达300℃的小型热交换器HX-0051H北崎热卖

日期:2025-07-08 04:41
浏览次数:14
摘要:LINTEC林泰克使用温度达300℃的小型热交换器HX-0051H北崎热卖

小型气体加热器(热交换器)

瞬间高效率流体加热技术产品HX系列。

小型气体加热器的用途

  • 可加热各种流体

  • 瞬间且稳定的流体加热

  • 质量流量控制器(MFC)输出端的气体加热

LINTEC林泰克使用温度达300℃的小型热交换器HX-0051H北崎热卖

各种流体加热

该系列加热器搭载SUS316L不锈钢材质的加热模块,加热部分与流体不直接接触,可以瞬间加热没有腐蚀性的流体。

瞬间且稳定的流体加热

在配管中流动的气体具有很难被加热和冷却的特点。

通常,配管中的流体通过配管外部的带状加热器加热。但这种方式存在缺点,即难以使热量传递到中心部位。HX系列热交换器可以将热量瞬间传递到流体中心,从而达到稳定加热的目的。

质量流量控制器(MFC)输出端的气体加热

在半导体制造工艺中,不仅需要对气体进行加热处理,气体还需要在加热前接受流量控制。为了在加热器的输入端设置质量流量控制器以控制流量,加热器(输出端)则需采用低压降结构。LINTEC研发的HX系列加热器具备低压降结构,适合与质量流量控制器输出端连接使用。

高温热交换器HX-0051H

*使用温度达300℃的小型热交换器。

特点

  • 面间距169㎜×长度177㎜的紧凑型设计

  • 可将20SLM的N2气体加热至300℃

  • 适合用于固体升华、液体汽化供给中的载气加热

LINTEC林泰克使用温度达300℃的小型热交换器HX-0051H北崎热卖HX-0051H

使用范例

液体汽化、固体升华中的载气加热

导入液体汽化器的载气流量一旦过5SLM,汽化室温度就会降低,从而影响汽化效率。鼓泡法、固体升华同样存在这一缺陷。要想使汽化或升华反应持续稳定,对载气进行温度管理是不可或缺的要素。HX-0051H系列热交换器的*使用温度可达300℃,*适合对载气进行加热。

规格表


流量(N2换算) 压力损失(N2) 耐压(G) 使用温度 接触气体部位材质
规格 20SLM 40kPa 1MPa 300℃ SUS316L不锈钢

※小型气体加热器、小型热交换器的产品详情请直接致电或邮件咨询LINTEC。

京公网安备 11030102010384号