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日本进口大塚的椭圆偏光测量仪FE-5000S（PXM28）
日期：2024-05-07 06:11
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摘要：使用环境
设置场所：屋内设置（避免太阳光直射）
周围环境：无倾斜，异常震动，灰尘，有害气体，温度变动，
电源变动，磁场噪音，不会接触液体，没有起火
物质。
高度界限：标准高度2000m
周围温度：20-30℃（无剧烈的温度变化）
相对湿度：30-80%（无结露）
噪 音：60dB以下（距离设备测量1m的距离测量）
日本进口大塚的椭圆偏光量测仪FE-5000S（PXM28）
显微分光膜厚仪
对应多种膜的解析计算方法
● *小二乘法
通过优良反射率测量和薄膜模拟的fitting，可解析目标膜的膜厚和
光学常数（n:折射率，k:消光系数）。
也可对应层叠结构
● *适合法
在设定的膜厚范围内，进行薄膜模拟，可自动演算光谱形状*高
膜厚值的手法。可对应多层level的层叠结构。
● 周期解析（FFT法）
通过傅里叶变换计算光干涉的光谱波形的周期性，可自动演算膜厚的
膜厚值。即便没有基板信息，也可解析，此外，还能对应多层level
的层叠结构
● P（V 峰谷法）
以光干涉法为原理的解析手法。通过输入单层膜的折射率，即便没
基板信息，可以自动演算膜厚值。
可在测量的反射率的峰值（谷值）在2个以上时使用。
