ULVAC爱发科真空泵 NRL60A 北崎国际贸易（北京）有限公司

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产品名称：ULVAC爱发科真空泵
产品型号：NRL60A
产品厂商：ULVAC爱发科
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简单介绍：

ULVAC爱发科真空泵 NRL60A

详情介绍：

ULVAC爱发科真空泵 NRL60A

特长/Features：
NRL系列在低温领域下的均热化。除PVD工艺外，尤其适用于希望提高流量，缩短排气时间的重要工艺腔体的排气。
1.低噪音、低振动
2.优良的耐腐蚀性
标准零部件采用高硬度并经过优异的防腐蚀特殊表面处理，降低对腐蚀性气体排气时泵体内部的腐蚀程度。
3.选购件
可选购消音器、冷却水流量开关、氮气流量开关、泵温传感器。

用途/Applications：
●活性气体（CVD、刻蚀等）。
●排出非活性气体（溅射镀膜、蒸气镀膜、热处理、液晶注入等）。
●用于产生粉尘工艺中的排气（Si单晶炉等）
●作为前级泵使用（涡轮式分子泵、机械罗茨泵的前级泵）。
●冷冻干燥等水蒸气排气。

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产品名称：ULVAC爱发科真空泵