产品名称：TOKYOKEISO东京计装 超声波流量计

TOKYOKEISO东京计装  超声波流量计  UCUF-15MB-Z5/Z

TOKYOKEISO东京计装  超声波流量计  UCUF-15MB-Z5/Z

概要
UCUF-M系列液体用超声波流量计是专为超纯水及各种药液等小流量测量而设计的流量计，由UCUF-M型检测器和SFC型变换器构成。UCUF型检测器的液体接触部全部由面向半导体产业的PFA构成，没有工作部，也没有容易产生积液的O形环等机械密封部。理想的洁净结构，是半导体装置等要求洁净度的工艺的*佳流量计。
SFC型变换器大大减轻了在半导体工艺、化学液工艺等中存在问题的流体中所含气泡的影响。为了适应各种药液的需要，系统配备了消除流体动态粘度影响的校正功能。DIN导轨安装类型非常适合于节省空间的需求。可通过RS485通信功能对流程进行集中管理。(详情请参阅<<转换器技术指南>>。))
特长
符合EMC标准:EN61326-1a符合RoHS标准
连接管间距统一为80毫米可测量动粘度达40mm2/s的高粘度流体精度在指示值的士1%以内(在流速1m/s以上时)宽范围能力(100:1低切口1%的情况)理想清洁结构的检测器耐腐蚀性强，安装简便
主要用途
半导体制造工艺中纯水.超纯水流量测量各种药液注入过程的流量测量高腐蚀性液体的流量测量
CMP浆料流量测定
其他，小至中径工艺液体流量测定适用于清洗装置、CMP装置的流量测量与控制
特长
符合EMC标准:EN61326-1a符合RoHS标准
连接管间距统一为80毫米可测量动粘度达40mm2/s的高粘度流体精度在指示值的士1%以内(在流速1m/s以上时)宽范围能力(100:1低切口1%的情况)理想清洁结构的检测器耐腐蚀性强，安装简便
主要用途
半导体制造工艺中纯水.超纯水流量测量各种药液注入过程的流量测量高腐蚀性液体的流量测量
CMP浆料流量测定
其他，小至中径工艺液体流量测定适用于清洗装置、CMP装置的流量测量与控制