产品名称：TOKYOKEISO东京计装 超声波流量计

TOKYOKEISO东京计装  超声波流量计  UCUF-20K/DZ

TOKYOKEISO东京计装  超声波流量计  UCUF-20K/DZ

UCUF-K系列液体超声流量计是一种设计用于测量超纯水及各种化学液体的小流量流量计，由UCUF-K探测器和SFC换能器组成。 UCUF型探测器的所有湿润部件均采用PFA制成，面向半导体行业，且无活动部件，也无易积液的机械密封件如O型圈。 由于其理想的清洁结构，它是需要高度洁净度的工艺的理想流量计，如半导体设备。
纯水/化学设备用流量计和控制器
超声流量计（设备用）|高精度型
特色
EMC合规规范 ：EN61326-1 ： 2013/EN61326-2-3 ： 2013
符合RoHS
能够测量高达40 mm²/s的高粘度流体动学粘度
精度在指示值的±1%以内（流速超过1 m/s）
广域能力（典型比例为100：1）
理想的清洁结构探测器
耐腐蚀且安装简便
主要应用
半导体制造过程中纯净水和超纯水的流量测量。
各种化学注入工艺的流量测量。
高度腐蚀性液体的流量测量。
CMP浆液流量测量
其他小~中直径工艺液体流量测量
非常适合清洗和CMP设备的流量测量与控制
标准规格
探测器规格
测量对象 液体一般来说（没有气泡的液体，混合物均匀溶解）
口径 4毫米 ~ 20毫米
流量范围 *小：0 ~ 0.8 L/min（04K）
*大：18.8 ~ 80 L/min（20K）
流体温度 +10 ~ +60°C
流体压力 0 ~ 0.5MPa（G）
进程连接 PFA管端
测量精度 ±0.008 L/min ~ ±1%

兼容换能器

形式	SFC3000	SFC4000
安装方法	DIN导轨安装	面板安装
外观