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- YUASA尤阿萨折弯机
- UNILAM优尼光紫外灯
- POLARION普拉瑞探照灯
产品详情
简单介绍：
高真空排气机组
可通过简单操作实现到达高真空的排气
产品附带脚轮，方便搬运！
抗干扰强，可在泵运行期间移动！
可根据需求，安装可选附属设备
详情介绍：
日本osakavacuum大阪真空 涡轮分子泵 TG420M
日本osakavacuum大阪真空 涡轮分子泵 TG420M
全方位安装
轻巧设计
节能
分子泵停止与启动时间短附带维护警报机能
低振动
无需调整
自动校准
可控制转子旋转速度
大流量排气
多种通信模式
符合**规格NRTL/SEMI-S2/CE
用途
・半导体制造
・电子枪排气，离子源排气
・FPD制造
・表面处理，表面改质
・各种电子部件的制造
・分析，试验装置
・管球制造，光学部件制造
・加速器，放射线设施，核聚变研究
・热处理
・研究开发
| 吸气口法兰 |
VG150 CF160 ISO-B160 |
|
| 排气速度 | N2 (L/s) | 400 |
| N2(附加金属保护网) (L/s) | 370 | |
| H2 (L/s) | 300 | |
| *大压缩比 | N2 | 1×108 |
| H2 | 4.5×103 | |
| 极限压力 | VG・ISO-B/CF (Pa) | <1×10-6 / <1×10-7 |
| VG・ISO-B/CF (Torr) | <7.5×10-9 / <7.5×10-10 | |
| *大气体流量※1 | N2 (sccm) | 2000 |
| 启动时间 | (min) | 2~3 |
| 停止时间 | (min) | 4~5 |
| 允许辅助压力 | (Pa / Torr) | 400 / 3 |
| 推荐辅助泵 | (L/min) | ≧160 |
| 安装角度 | 任意 | |
| 重量 | VG･ISO-B/CF(kg) | 14/17 |
|
特殊规格 (详情请咨询销售人员。) |
-耐腐蚀型 -耐反应生成物型 TG-MI -极低振动型 TG-ML |
|
- ※1：辅助泵的容量是320L/min情况下的容许*大流量
- [ 使用周囲温度 ]
- 极限压力保证环境温度是10～23℃。另外，容许环境温度在空冷情况下是10～32℃，水冷情况下是10～40℃。极限压力保证冷却水温在30℃以下时容许冷却水温是10～35℃。
- [ 对应气体种类 ]
- 由于排气的气体种类不同，可能导致泵内零件的老化。
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