产品详情
  • 产品名称:日本osakavacuum大阪真空 涡轮分子泵

  • 产品型号:TG397M
  • 产品厂商:osakavacuum大阪真空
  • 产品文档:
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简单介绍:
高真空排气机组 可通过简单操作实现到达高真空的排气 产品附带脚轮,方便搬运! 抗干扰强,可在泵运行期间移动! 可根据需求,安装可选附属设备
详情介绍:

日本osakavacuum大阪真空 涡轮分子泵 TG397M 

日本osakavacuum大阪真空 涡轮分子泵 TG397M 

TG397M / TG427M / TG907M / TG1307M
新型磁悬浮轴承型涡轮分子泵TG397M / TG427M / TG907M / TG1307M 的特长
省电力设计
工作数据,轴承接触次数,机种情报等都可存储于分子泵本体                                                                                                      ※进行保养时即使更换控制器,数据也可进行转移
多种通信规格(可对应EtherCAT)
国际规格
符合CE,SEMI-S2,NRTL规格

用途

  • 半导体制造设备
  • FPD制造设备
  • 太阳能电池制造设备
  • 玻璃/镜片等光学部件加工
  • 薄膜加工
  • 加速器/宇宙环境实验设备

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