- osakavacuum大阪真...
- ISOLOC德国
- EIKO宇科
- GRPTOPS瑞士
- RHOSONICS荷兰 罗森...
- ASHCROFT美国雅斯科
- ALDAK瑞士
- A-M Systems美国
- Airtrol美国
- PASCAL帕斯卡
- MISTUBISHI三菱
- TOSEI东静
- OLEOCON土耳其
- AIHARADENKI相原电...
- URAS-TECHNO村上精...
- DINEL捷克
- YAMADA DOBBY
- TOGNELLA意大利多利拿
- CLAVEL法国
- EAGLESTARS二村
- SUGIDEN杉山电机
- Kashiyama樫山工业
- 机器人质量比较仪
- METTLER TOLEDO...
- ASAHI-SPECTRA
- DRE东荣电子
- DAIICHI NEKKEN...
- DIC迪爱生
- SES-STERLING法国
- STAUBLI瑞士史陶比尔
- Di-soric德国
- OPTRIS德国
- SERIC索莱克
- Fujikin富士金
- SANKO三高
- WAGO德国
- NPM日本脉冲
- 美国FLUKE福禄克
- TSI
- LINTEC林泰克
- RION理音
- BRUKER布鲁克
- hamamatsu滨松光子
- KKIMAC莱马克
- NIPPON GEAR日本齿...
- MIYACHI天田
- S-VANS斯万斯
- YODOGAWA淀川
- YUTAKA优塔卡
- YAMADA雅玛达
- NS日本精密科学
- Kakuhunter写真化学
- MITUTOYO三丰
- MIYUKI美幸辉
- NOHKEN能研
- IWAKI易威奇
- NAGANO KEIKI长野...
- THINKY日新基
- OHAUS奥豪斯
- SIBATA柴田
- TOKISANGYO东机产业
- NFK南国工业
- TOADKK东亚电波
- CCS晰写速
- TOPCON拓普康
- METTLER梅特勒
- FUNATECH船越龙
- INFLIDGE英富丽
- AND爱安德
- ZAYTRAN
- RlKEN KElKl理研
- EABRA荏原
- DAIICHI NEKKEN...
- ISHIZAKI石崎
- SONOSABER本多
- AIRTECH安泰
- TAISEIKIKO大成机工
- CHROMA致茂
- OSAWA大泽
- FORTUNE富创制作所
- TOAGOSEI东亚合成
- KEYSIGHT是德
- B&K
- AIKOH爱科
- COJOT
- TAIHO大鹏
- PHOTRON活图隆
- ETA-USA
- EIWA永和
- ELODENKI江藤
- HELLERMANN TYT...
- OPPAMA追浜工业
- TOYOKO KAGAKU东...
- FUJI富士
- EXCEL听音机
- SOMAX
- HITACHI日立
- FYH
- DAIJI大自工业
- LOAS
- TOKYO TSUSHIN东...
- SUGAWARA菅原
- IHDC
- MEIDEN明电北斗
- FUJICON富士
- SANKYO三协
- KOSHIN东佳
- YOKOHAMARIKA横滨
- MIRUC米瑞克
- MUTOH武藤
- TAKASAGO高砂
- JST日本时间
- OVAL
- EMIC爱美克
- SAKAI酒井
- DAIKIN大金
- FUJITSU富士通
- YOKOGAWA横河
- KILONY
- TECLOCK得乐
- TEIKOKU帝国
- KOD小寺
- ACE GIKEN技研
- SWAGELOK世伟洛克
- SGS清水
- TOYO东洋
- OKM
- KNF 凯恩孚
- DAIO 大王
- RHESCA力世科
- SURFGAUGE
- CYGNUS赛纳生物
- YUTAKA杉本
- NIKUNI尼可尼
- KRONE克朗
- IMADA 今田
- BEAT SENSE
- BROOKS 布鲁克斯
- THOMAS 托马斯
- KDN京都电机
- SAITOHK 齐藤光学
- DENGENSHA TOA电...
- TSUBAKI 椿本
- 北崎现货
- ISOWATEC沃森-马洛
- MIYAWAKI日本
- YUTAKA日本
- IZUMIDENNETU泉电...
- KOTOHIRA琴平
- GASTEC日本
- SINAGAWA品川
- TOKU东空
- LINE 莱茵
- HISHIKO菱小
- TSUBOSAKA壶板电机
- MEITOU名藤化工
- ANALYZER
- GRAPHTEC图技
- HIOKI日置
- DAIICHIKEIKI**...
- KORI古里精机
- Mother Tool母工具
- ARK TECH方舟
- RIKEN KEIKI理研
- AKAMATSU赤松电机
- SERIC赛瑞克
- SEIWAOPT清河光学
- SAIKA佐加
- MOTOYAMA本山
- POWREX派沃斯
- TAIWA台和
- MITSUIEC 三井电气
- FUJIHIRA富士平工
- MINATO CONCEPT...
- MEIWAFOSIS日本
- SONOTEC超音波
- HANATSUKA花塚
- YOSHIDA吉田制作
- SOMA相马光学
- CHO-ONPA超音波工业
- RIGO离合社
- KSK加藤
- JAI分析工业
- KIMMON金门科哈
- EDDIO哈拉电子
- KAWAKI川木柿
- NTS日本
- YAZAWA矢泽科学
- SHODENSHA松电社
- JULABO优莱博
- SEKONIC世康尼克
- TEXIO德士
- SANWA 三和电气
- NAKAKEI中庆
- KONAN中村
- ACT阿克特
- NAKANISHI中西
- HOZAN宝山
- MIGHTY威力
- KONSEI近藤制作所
- ANTON PAAR安东帕
- Japan sensor日本...
- KIKOH木子技研
- SHINOH新樱电气
- HIYOSHI日吉电机
- MALHATY丸八
- TOHSHIN东振
- ADVANCE RIKO先进...
- MAEDAKOKI前田机械
- SHINKA新科
- FKK-NET富士化学
- NISHIYAMA西山
- KENKO肯高
- ASAHI-SEIKO朝日精...
- SUGITOH杉藤
- RYUKI东京流机
- CEW中央电机
- U-TECHNOLOGY优科...
- FUJITECOM富士东讯
- DAIKI大起理化
- SHOSHU近江
- RIGAKU日本理学
- JP-UNION优尼恩
- CCSAWAKI泽木工房
- ADTECH日本
- TOHNIC托尼克
- OSI王子
- TOHIN东滨
- NPC西村陶业
- TEKHNE泰科尼
- ATSENSE安森
- YUMEAL玉梅尔
- KITA喜多
- UBM日本博闻
- NIHONIKA日本医疗
- IRIE入江
- KELK凯尔
- NAPSON纳普森
- THERMOCERA日本K....
- NipponFreezer弗...
- HORIKOSHI堀越
- ESPEC埃斯佩克
- TOMY汤米工业
- SEM坂本
- OPTCOM奥特康
- SND胜安达
- UNION联合电机
- NISSIN日新理化
- FUKKO伏虎
- BUCHI布奇
- DIAVAC日本大亚
- ISUZU五十铃
- GALILEI伽俐略
- SANYO三洋
- INOX东荣
- DAIDO大同
- TGK东京硝子
- JASCO日本分光
- OHKURA大仓
- YAMATO大和
- YAYOI弥生
- ULVAC爱发科
- SCINICS赛尼克斯
- IMV爱睦威
- CEDAR思达杉崎
- OBISHI大菱
- DOYEI同荣
- BIG大昭和
- SKSATO佐藤
- LUCEO路西奥
- TDC东光
- KUBOTA久保田
- MAGNIX东洋
- RENISHAW雷尼绍
- ADS
- TOKO东光化学
- PILLAR比拉
- MUSASINO武藏野
- IMADA今田
- MANDK曼德克
- MECT梅克特
- MICROTECH微科技
- SUN-KAGAKU太阳科学
- SHIBAURA芝浦机电
- MURAYAMA村山电机
- TERADA 寺田
- MARTEC马尔泰克
- WAKAIDA若井田
- BIONICS仿生学
- H-REPIC
- TESEC特塞克
- TOKYOKODEN东京光电
- DAIOH大旺新洋
- AE-MIC
- MORIKAWA森川
- NAKASEIKI仲精机
- PORTEC普罗特
- SINKO-DENKI信光电...
- MAGNA麦格纳
- TOYOX东洋克斯
- NLC仲氏液控
- SHINSEI新生精机
- MINORU
- AKIYAMA秋山机械
- otake大竹
- OSHOMANOKI
- KAWATA川田
- OURSTEX
- MARU丸七
- TECMAN泰曼
- YAMAMOTO
- FUJIWARA藤原
- SUN SCIENTIFIC...
- SHIMADEN岛电
- NARISHIGE成茂
- IHARA伊原
- YAMATAKE山武
- MICROSTONE微石
- KIMO凯茂
- Magnescale
- NEWERA新时代
- KONICA MINOLTA...
- HOKUYO北阳电机
- KANETEC强力
- FUJIWARA藤原制作所
- SHINKUU真空设备
- TANDD
- Gardasoft
- IDEC和泉
- ISHIKAWA石川
- SMT
- MACOME码控美
- HEIDON新东科学
- NAKA仲精机
- IEDA家田
- DELTAOHM
- Thermoport
- Greisinger格雷辛格
- SHIZUOKA日本静冈
- SR三木
- OKAZAKI冈崎
- SK-SATO佐藤
- OKANO冈野制作所
- ANRITSU-METER安...
- AGELA博纳艾杰尔
- PHENOMENEX飞诺美
- PHILIPS飞利浦
- PARKER派克
- IMADA依梦达
- Chnspec彩谱
- Asahi-spectra朝...
- MINEBEA美蓓亚
- IMAO今尾
- NABEYA日本锅屋
- B&PLUS巴鲁夫
- NIPPON GEAR齿轮工...
- CAPITAL-PUMPS资...
- NINOMIYA二宫电缆
- YAMAMOTO-MS 山本...
- SURUGASEIKI骏河精...
- ASKAR高分子計器
- ASK
- RKC理化工业
- KROMASIL诺力昂
- EYELA东京理化
- MUSASHI武藏
- DIT东日技研
- EYE岩崎
- 铱晶科技
- OMRON欧姆龙
- Kromasil克罗马西尔
- NIDEC尼得科
- BEL意大利倍尔
- SONIC索尼克
- ASONE亚速旺
- SANKO山高
- ATTO日本安藤
- SOLAX/SERIC索莱克
- SHARP夏普
- TSUBOSAKA壶坂
- KEM京都电子
- SANXIN日本三信
- REVOX莱宝克斯
- KOKEN日本兴研
- SUGIYAMA杉山电机
- IMT艾磨特
- KYOWA共和
- FUJIIMPULSE富士音...
- KIKUSUI菊水
- SHIMADZU岛津
- METROHM瑞士万通
- OTSUKA大塚
- PECULIAR普拉勒
- YAMATO雅马拓
- VACUUBRAND普兰德
- GW固纬
- RIKEN理研
- CUSTOM东洋计量
- KYORITSU共立
- IKA艾卡
- HORIBA日本堀场
- YIHENG一恒
- SHOWA GIKEN昭和技...
- KYOWA协和工业
- SSD西西蒂
- G-MEN日本
- INTECS
- SATOVAC 佐藤真空
- DITECH迪泰克
- HAKKO日本白光
- AMADA天田
- SENSEZ森兹
- MORITEX茉丽特
- VIBRA新光电子
- TOSHIBA东芝
- HENIX梅田
- JISC积世克
- MANOSTAR 山本电机
- NIPPONMUKI无机
- YAMADA山田
- TEAC泰克
- MIDORI
- EIWA荣和
- KOSAKA 小坂
- EMP榎本
- TAIYO太阳铁工
- ACCRETECH东精精密
- PISCO匹士克
- PANASONIC松下
- KURODA黑田精工
- TAKIKAWA泷川
- TSURUGA鹤贺
- TOKYOKEISO东京计装
- SEN日森
- KASUGA春日电机
- COSMOS新宇宙
- SR三木工厂
- TKD武田
- NIPPON-MR绳索
- MARUYAMA丸山
- KASHIYAMA柏山工业
- SHOWA昭和
- ONOSOKKI小野
- TSUBAKI椿本
- THK轴承
- TORAY东丽
- NITTO日东
- FUJI-US富士
- MEISEI日本明星
- KOMYOKK光明理化
- HOYA豪雅
- SAGINOMIYA日本鹭宫
- NS日本精密
- TAISEI大生
- KETT凯特
- KRK笠原理化
- LIGHTEST
- AITEC艾泰克
- KITZ北泽
- ONOSOKKI小野传感器
- SAKAGUCHI坂口电热加...
- KOYO光阳
- LUBE泵阀
- KURABO久保田脱泡机
- MCRL村上分光测色仪
- NIPPONMUKI无机过滤...
- ORC欧阿希照度计
- USHIO牛尾UV灯
- SAKURAI樱井打印纸
- KEYENCE基恩士
- LUCEO鲁机欧应力仪
- SANEI三荣电机
- NPM日脉电机马达
- NBK锅屋工装夹具
- AKRIBIS雅克贝斯精密平...
- COSMO科斯莫检漏仪
- SAMJUNG禅才离子风棒
- SUMITA住田光纤
- HAYASHI林时计光纤光源
- METROL美德龙
- VALQUA华尔卡配管部品
- CHINO千野温湿度计
- HIKARIYA光屋检查灯
- HEIDON新东搅拌机
- SOLAX/SERIC索纳克...
- SANKO山高膜厚计
- ITOH伊藤粉碎机
- NEWKON新光针孔机
- ONOSOKKI小野编码器
- ELMEX安科生物涂抹棒
- AxoScan美国
- MITSUI ELECTRI...
- FUJICOM富士
- HAYASHI林时计
- Navitar纳维塔尔镜头
- KANETEC强力脱磁装置
- NPM日本脉冲电机
- YUASA尤阿萨折弯机
- UNILAM优尼光紫外灯
- POLARION普拉瑞探照灯
产品详情
简单介绍：
可提供耐腐蚀气体型分子泵
耐大气冲击能力强
耐外部振动
多种通信模式
符合**规格NRTL/SEMI-S2
详情介绍：
日本osakavacuum大阪真空 涡轮分子泵 TG2813
日本osakavacuum大阪真空 涡轮分子泵 TG2813
可提供耐腐蚀气体型分子泵
耐大气冲击能力强
耐外部振动
多种通信模式
符合**规格NRTL/SEMI-S2
用途
・半导体制造
・电子枪排气，离子源排气
・FPD制造
・表面处理，表面改质
・各种电子部件的制造
・管球制造，光学部件制造
・加速器，放射线设施，核聚变研究
・热处理
・研究开发
※无油工艺排气请选择TG-F系列、TG-M系列、TGkine系列
| 吸气口法兰 |
VG250 ISO-B250 |
|
| 抽气速度 | N2 (L/s) | 2800 |
| N2(附带金属保护网) (L/s) | 2600 | |
| H2 (L/s) | 2400 | |
| *大压缩比 | N2 | 1×108 |
| H2 | 6×103 | |
| 极限压力 | VG・ISO-B (Pa/Torr) | <1×10-6/ <7.5×10-9 |
| *大气体流量※1 | N2 (sccm) | 543 |
| 启动时间 | (min) | 10-15 |
| 停止时间 | (min) | 25-28 |
| 允许辅助压力 | (Pa / Torr) | 270/2 |
| 推荐辅助泵 | (L/min) | 1500 |
| 润滑油量 | (mL) | 260 |
| 安装角度 | 垂直（±10°） | |
| 重量 | (kg) | 100 |
- ※1：辅助泵的容量是3000L/min情况下的*大容许流量
- [ 使用环境温度]
- 极限压力保证环境温度是10～23℃。另外，容许环境温度是10～40℃。极限压力保证冷却水温在30℃以下时容许冷却水温是10～35℃。
- [ 对应气体种类 ]
- 由于排气的气体种类不同，可能导致泵内零件的老化。
产品留言
