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- NPM日本脉冲电机
- YUASA尤阿萨折弯机
- UNILAM优尼光紫外灯
- POLARION普拉瑞探照灯
产品详情
简单介绍：
可提供耐腐蚀气体型分子泵
耐大气冲击能力强
耐外部振动
多种通信模式
符合**规格NRTL/SEMI-S2
详情介绍：
日本osakavacuum大阪真空 涡轮分子泵 TG553
日本osakavacuum大阪真空 涡轮分子泵 TG553
可提供耐腐蚀气体型分子泵
耐大气冲击能力强
耐外部振动
多种通信模式
符合**规格NRTL/SEMI-S2
用途
・半导体制造
・电子枪排气，离子源排气
・FPD制造
・表面处理，表面改质
・各种电子部件的制造
・管球制造，光学部件制造
・加速器，放射线设施，核聚变研究
・热处理
・研究开发
※无油工艺排气请选择TG-F系列、TG-M系列、TGkine系列
| 吸气口法兰 |
VG150 CF160 ISO-B160 |
|
| 抽气速度 | N2 (L/s) | 550 |
| N2(附带金属保护网） (L/s) | 430 | |
| H2 (L/s) | 370 | |
| *大压缩比 | N2 | 1×108 |
| H2 | 3×103 | |
| 极限压力 | VG・ISO-B/CF (Pa) | <1×10-6/ < 1×10-7 |
| VG・ISO-B/CF (Torr) | <7.5×10-9/< 7.5×10-10 | |
| *大气体流量※1 | N2 (sccm) | 1500 |
| 启动时间 | (min) | 8-13 |
| 停止时间 | (min) | 8-11 |
| 允许辅助压力 | (Pa / Torr) | 300/2.3 |
| 推荐辅助泵 | (L/min) | 250 |
| 润滑油量 | (mL) | 260 |
| 安装角度 | 垂直（±10°） | |
| 重量 | (kg) | 41 |
| 控制器型号 | TC553 | |
- ※1：辅助泵的容量是500L/min情况下的*大容许流量
- [ 使用环境温度]
- 极限压力保证环境温度是10～23℃。另外，容许环境温度是10～40℃。极限压力保证冷却水温在30℃以下时容许冷却水温是10～35℃。
- [ 对应气体种类 ]
- 由于排气的气体种类不同，可能导致泵内零件的老化。
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