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产品详情
简单介绍：
以往产品的反应生成物对策
包括对象部位的周围整体的加热。
・热度会分散。不能有效利用。
・其他部位也会受到热度的影响。
详情介绍：
日本osakavacuum大阪真空 涡轮分子泵 TGkine3800MI-B
日本osakavacuum大阪真空 涡轮分子泵 TGkine3800MI-B
针对内部容易出现反应生成物的设备，需要采取措施来防止设备内部反应生成物的堆积与固化。本公司是世界上**家开发绝热结构/自加热机制，采用此构造能有效降低反应生成物的堆积与固化，充分延长分子泵的寿命与维护周期。
以往产品的反应生成物对策
包括对象部位的周围整体的加热。
・热度会分散。不能有效利用。
・其他部位也会受到热度的影响。
通过使用TGkineMI-B系列
使用外部加热器实现升温，同时利用在泵内部产生的气体的摩擦热，来使接触气体部位高效率地升温
・可以减小外部加热器的输出功率，得到节能的效果。
・可以防止主要部分受到热度影响，防止泵受损。
・排气口采用了绝缘材料。保持了*佳温度，防止排气口堆积生成物。
以往产品的反应生成物对策
包括对象部位的周围整体的加热。
・热度会分散。不能有效利用。
・其他部位也会受到热度的影响。
通过使用TGkineMI-B系列
使用外部加热器实现升温，同时利用在泵内部产生的气体的摩擦热，来使接触气体部位高效率地升温
・可以减小外部加热器的输出功率，得到节能的效果。
・可以防止主要部分受到热度影响，防止泵受损。
・排气口采用了绝缘材料。保持了*佳温度，防止排气口堆积生成物。
用途
- 半导体、FPD、MEMS制造等蚀刻设备
- 易生成反应生成物的设备
产品留言
