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  • 产品名称:日本osakavacuum大阪真空 涡轮分子泵

  • 产品型号:TG2400F-40
  • 产品厂商:osakavacuum大阪真空
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简单介绍:
全方位安装 轻巧设计 节能 迅速启动 使用破控功能可迅速停止 耐大气冲击能力强 多种通信模式
详情介绍:

日本osakavacuum大阪真空 涡轮分子泵 TG2400F-40

日本osakavacuum大阪真空 涡轮分子泵 TG2400F-40

全方位安装
轻巧设计
节能
迅速启动
使用破控功能可迅速停止
耐大气冲击能力强
多种通信模式
符合**规格NRTL/SEMI-S2/CE
用途

半导体制造
电子枪排气,离子源排气
FPD制造
表面处理,表面改质
各种电子部件的制造
分析,试验装置
管球制造,光学部件制造
加速器,放射线设施,核聚变研究
热处理
研究开发
※排放腐蚀性气体时,请选择耐腐蚀性的TG-M,TG系列。

型号 TG2400F TG2400F-40
吸气口法兰  VG250/ISO-B250
排气速度 N2 (L/s) 2400
N2(附带金属保护网) (L/s) 2300
H2 (L/s) 1100
*大压缩比  N2 1×108
H2 1.4×103
极限压力 (Pa/Torr) <1×10-6/<7.5×10-9
*大气体流量※1※2 (sccm) 900 1500
启动时间 (min)  5-7
停止时间 (min)  15-18
允许辅助压力 (Pa/Torr) 200/1.5
推荐辅助泵 (L/min) ≧500
安装角度 任意
重量 风冷/水冷 45/47
控制器型号 TC2403 TC2403-10※3

※1:辅助泵的容量是1000L/min情况下的*大容许流量
※2:电源型号不同的话规格也不同
※3:用于TG2400F-40

[ 使用环境温度 ]极限压力保证环境温度是10~23℃。另外,容许环境温度在空冷情况下是10~32℃,水冷情况下是10~40℃。极限压力保证冷却水温在30℃以下时容许冷却水温是10~35℃。

[ 对应气体种类 ]由于排气的气体种类不同,可能导致泵内零件的老化。


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