日本osakavacuum大阪真空涡轮分子泵 TG1100F*A*-60 北崎国际贸易（北京）有限公司

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产品名称：日本osakavacuum大阪真空涡轮分子泵
产品型号：TG1100F*A*-60
产品厂商：osakavacuum大阪真空
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简单介绍：

全方位安装轻巧设计节能迅速启动使用破控功能可迅速停止耐大气冲击能力强多种通信模式符合**规格NRTL/SEMI-S2/CE

详情介绍：

日本osakavacuum大阪真空涡轮分子泵 TG1100F*A*-60

全方位安装
轻巧设计
节能
迅速启动
使用破控功能可迅速停止
耐大气冲击能力强
多种通信模式
符合**规格NRTL/SEMI-S2/CE
用途
半导体制造
电子枪排气，离子源排气
FPD制造
表面处理，表面改质
各种电子部件的制造
分析，试验装置
管球制造，光学部件制造
加速器，放射线设施，核聚变研究
热处理
研究开发
※排放腐蚀性气体时，请选择耐腐蚀性的TG-M，TG系列。

规格
外观尺寸表
性能曲线
控制器

型号		TG1100F	TG1100FA-60/TG1100FW
吸气口法兰		VG200/ISO-B200/CF200
排气速度	N2 (L/s)	1100
	N2(附带金属保护网) (L/s)	1000
	H2 (L/s)	720
*大压缩比	N2	1×108
	H2	1×104
极限压力	(Pa/Torr)	<1×10-6/<7.5×10-9
*大气体流量※1※2	(sccm)	330	860
启动时间※2	(min)	7-9	5.5-7
停止时间※2	(min)	27-32	12-15
允许辅助压力	(Pa/Torr)	330/2.5
推荐辅助泵	(L/min)	≧250
安装角度		任意
重量	VG・ISO-B/CF(kg)	28/27
控制器型号		TC1104	TC1103※3

※1：辅助泵的容量是500L/min情况下的*大容许流量
※2：电源型号不同的话规格也不同。(标准:TC1104)
※3:空冷需要更换空冷风扇(TG800F***-60)
[ 使用环境温度 ]
极限压力保证环境温度是10～23℃。另外，容许环境温度在空冷情况下是10～32℃，水冷情况下是10～40℃。极限压力保证冷却水温在30℃以下时容许冷却水温是10～35℃。
[ 对应气体种类 ]
由于排气的气体种类不同，可能导致泵内零件的老化。

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产品名称：日本osakavacuum大阪真空 涡轮分子泵

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