产品详情
  • 产品名称:日本osakavacuum大阪真空 涡轮分子泵

  • 产品型号:TG70F
  • 产品厂商:osakavacuum大阪真空
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简单介绍:
H2*大压缩比达到了105,适用于排放轻气体 在高倍压的情况下也可以连续运转,排气性能安定 辅助泵可以使用隔膜泵,实现了设备的小型化以及减少成本! 拥有将电源控制器与分子泵一体化和电源口控制器与分子泵独立化的两种产品 360度任意角度安装 耐振动,可移动正在运转的真空泵
详情介绍:

日本osakavacuum大阪真空 涡轮分子泵 TG70F

日本osakavacuum大阪真空 涡轮分子泵 TG70F

  • H2*大压缩比达到了105,适用于排放轻气体
  • 在高倍压的情况下也可以连续运转,排气性能安定
  • 辅助泵可以使用隔膜泵,实现了设备的小型化以及减少成本!
  • 拥有将电源控制器与分子泵一体化和电源口控制器与分子泵独立化的两种产品
  • 360度任意角度安装
  • 耐振动,可移动正在运转的真空泵

用途

  • 半导体制造
  • 电子枪排气,离子源排气
  • FPD制造
  • 表面处理,表面改质
  • 各种电子部件的制造
  • 分析,试验装置
  • 管球制造,光学部件制造
  • 加速器,放射线设施,核聚变研究
  • 热处理
  • 研究开发

 

※排放腐蚀性气体时,请选择耐腐蚀性的TG-M,TG系列。




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