产品详情
  • 产品名称:日本osakavacuum大阪真空 涡轮分子泵

  • 产品型号:TG60F-20
  • 产品厂商:osakavacuum大阪真空
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简单介绍:
全方位安装 轻巧设计 节能 迅速启动 使用破控功能可迅速停止 耐大气冲击能力强 多种通信模式 高压缩比 电源控制器与分子泵一体化 符合**规格NRTL/SEMI-S2/CE  (※**TG60F-20)
详情介绍:

日本osakavacuum大阪真空 涡轮分子泵 TG60F-20


  • 全方位安装
  • 轻巧设计
  • 节能
  • 迅速启动
  • 使用破控功能可迅速停止
  • 耐大气冲击能力强
  • 多种通信模式
  • 高压缩比
  • 电源控制器与分子泵一体化
  • 符合**规格NRTL/SEMI-S2/CE

(※**TG60F-20)

用途

  • 半导体制造
  • 电子枪排气,离子源排气
  • FPD制造
  • 表面处理,表面改质
  • 各种电子部件的制造
  • 分析,试验装置
  • 管球制造,光学部件制造
  • 加速器,放射线设施,核聚变研究
  • 热处理
  • 研究开发

※排放腐蚀性气体时,请选择耐腐蚀性的TG-M,TG系列。



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