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- HAYASHI林时计
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- NPM日本脉冲电机
- YUASA尤阿萨折弯机
- UNILAM优尼光紫外灯
- POLARION普拉瑞探照灯
产品详情
简单介绍：
全方位安装
轻巧设计
节能
迅速启动
使用破控功能可迅速停止
耐大气冲击能力强
多种通信模式
详情介绍：
日本osakavacuum大阪真空 涡轮分子泵 TG50F
日本osakavacuum大阪真空 涡轮分子泵 TG50F
全方位安装
轻巧设计
节能
迅速启动
使用破控功能可迅速停止
耐大气冲击能力强
多种通信模式
用途
- 半导体制造
- 电子枪排气，离子源排气
- FPD制造
- 表面处理，表面改质
- 各种电子部件的制造
- 分析，试验装置
- 管球制造，光学部件制造
- 加速器，放射线设施，核聚变研究
- 热处理
- 研究开发
※排放腐蚀性气体时，请选择耐腐蚀性的TG-M，TG系列。
| 吸气口法兰 | VG65/ISO-R63/CF63 | |
| 排气速度 | N2 (L/s) | 51 |
| N2(附加金属保护网) (L/s) | 49 | |
| H2 (L/s) | 12 | |
| *大压缩比 | N2 | 1.4×107 |
| H2 | 5×102 | |
| 极限压力 | VG・ISO-R/CF (Pa) | <3×10-6 |
| VG・ISO-R/CF (Torr) | <2.3×10-8 | |
| *大气体流量※1 | N2 (sccm) | 80 |
| 启动时间 | (min) | 1-1.5 |
| 停止时间 | (min) | 1-1.5 |
| 允许辅助压力 | (Pa/Torr) | 1330/10 |
| 推荐辅助泵 | (L/min) | ≧50 |
| 安装角度 | 任意 | |
| 重量 | VG･ISO-R/CF(kg) | 4.2/6 |
- ※1：辅助泵的容量是100L/min情况下的*大容许流量
- [ 使用环境温度 ]
- 极限压力保证环境温度是10～23℃。另外，容许环境温度在空冷情况下是10～32℃，水冷情况下是10～40℃。极限压力保证冷却水温在30℃以下时容许冷却水温是10～35℃。
- [ 对应气体种类 ]
- 由于排气的气体种类不同，可能导致泵内零件的老化。
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