DeviceNet通讯接口专用质量流量控制器。

*新的半导体制造设备上所搭载的控制器不再采用模拟通讯，而是采用开放式现场网络通讯技术，以达到高速控制和简化布线的目的。

在LINTEC，我们**于行业开发了符合SEMI认证标准的DeviceNet™通讯专用质量流量控制器MC-5000L。该系列产品配备了半导体制造工艺所需的金属密封件和LINTEC**的环境温度补足式质流传感器，还支持液化气体等多种选配规格。

DeviceNet质量流量控制器
　　　　　　　　　MC-5000L

特点

  • 精度范围±1%S.P.
  • 使用温度5～50℃
  • 金属密封件
  • 无尘生产（粒子标准监控）
  • 环境温度补足式质流传感器
  • DeviceNet™通讯

选配规格

  • 小流量F.S.
  • 液化气体
  • 大流量范围

使用范例

配线简化，节省成本

越来越多的半导体设备采用现场网络进行控制操作。DeviceNet通讯专用MFC （MC-5000L）不需要AD/DA转换器或IO板，具有成本低，配线少的特点。

规格表

温度 *小压差 *大压差 精度 控制范围 *小F.S. *大F.S. 密封件
5~50℃ 50kPa 300kPa ±1%S.P. 2~100%F.S. 5SCCM 200SLM Au

※此表仅表示一般规格的MFC。 根据选配规格变化。