高性能工艺型号：HGM2-302

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型号：HGM2-302 的介绍、购买和考虑

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Qulee HGM2 是 ULVAC 新型残余气体分析仪“Qulee”（以太网通信）的**型号，具有简单性和易用性。 2.5 × 10^-6实现了A/PA（法拉第杯）的高灵敏度，满足了从各种研发应用到真空设备过程管理的所有需求。

长处

测量质量数范围 1~300 amu
理想的研发应用作为
**特性的*高灵敏度 2.5×10^-6A/Pa

通信接口
兼容以太网通信
内置显示器设计无需 PC 即可
进行测量
作简单：一键功能（每个人都可以轻松，无需复杂作）
支持烘烤连接
传感器单元时，可进行高达 250°C 的高温烘烤（传感器单元分离状态：300°C）
配备脱气功能，
电子冲击脱附方式
维护易于更换
灯丝、离子源和二次电子倍增管
加强预防性维护功能离子源和二次电子倍增管的
预防性维护安装
分析管的可追溯性功能（**号 5016031）
增强的泄漏测试功能可进行氦
气泄漏测试、空气泄漏测试和附着测试。
总压测量
可测量总压（电离真空计功能）
Qulee QCS 兼容
软件作为标准配置提供（与 Windows 8/10/11 兼容）
一致性标准：
符合 CE 标准

用

温控脱附气体分析等各种研发
超高真空和超高真空排气系统的残余气体分析等。
测定气体中的痕量杂质
与太阳能电池相关的研发
有机物分析
环境测量

规范

型	HGM2-202		HGM2-302
质量分离法	四极杆质谱仪
质量数范围	1 ~ 200 AMU		1 ~ 300 阿姆
分辨率	M/ ΔM=1M （10% P.H.）
探测器	法拉第杯	二次电子倍增管	法拉第杯	二次电子倍增管
敏感性	2,5×10^-6A/Pa @1.0mA	4 A/Pa	2.0×10^-6A/Pa @1.0mA	4 A/Pa
*小感应分压	10^-9PA 单元	10^-13PA 单元	10^-9PA 单元	10^-13PA 单元
*大指定压力	1×10^-2帕
灯丝	LR/_Y2O32个
电离电压	25 ~ 70 eV （默认：70 eV）
发射电流	0.1mA/0.5mA/1.0mA （默认为 0.5mA）
DEGAS	电子冲击脱附法 330V，5mA
总压力测量功能	是/ 10^-2 ~ 10^-5帕
一键功能	是 / He / H₂O / N₂ / O₂ / 任何气体
一键式泄漏检查	和
电源电压	DC24V±10% 50W
质量（传感器单元/分析管）	2.4 千克 / 0.81 千克
*高烘烤温度（连接传感器单元时）	250°C
*高烘烤温度（拆下传感器单元时）	300°C
工作温度范围	10 ~ 40°C
工作湿度范围	15 ~ 80% （但无冷凝）
IP 防护等级	IP30 （传感器单元）
电源连接器	MSTBV2.5 / 3-STF-5.08
通信接口	以太网规格
外部输入/输出连接器	D-sub 15 针/M2.6 螺丝（可选）
通信连接器	RJ45 端口
外部输入/输出信号	2 个模拟输入（0-10V） ×、1 个外部联锁输入（压力保护）、×× 个错误输出（FIL、SEM、RF 故障）、分压器设定点输出 ×2（异常、警告）、总电压设定点输出 ×1
软件	Qulee QCS Ver4.2 或更高版本（兼容 Windows 8/10/11）
标准配件	电源连接器、LAN 电缆（3m）、软件（安装 CD）、使用说明书（CD）
选项（请参阅 Qulee 选项目录）	LAN 电缆（10、15、20、30、50 米）、交流适配器、USB-LAN 适配器、交换集线器（8 或 16 个端口）、I/O 连接器、护套加热器、手提箱
法规遵从性	CE

* 使用交流电源时，请务必准备交流适配器（参见 Qulee 选件目录）

选择

分析管	HGM-AN202 系列	用于 HGM（2）-202/302
耗材/维修套件	QFL-001 型	用于 HGM（2）-202/302
离子源	QIS-001 系列	用于 HGM（2）-202/302
二次电子倍增管	QEM-001 系列	HGM（2）-202/302， RGM（2）-202/302

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产品名称：ULVAC爱发科残余气体分析仪

高性能工艺型号：HGM2-302

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