产品名称：EBARA荏原ESR500W干式真空泵北崎供应

EBARA荏原ESR500W干式真空泵北崎供应

EBARA荏原ESR500W干式真空泵北崎供应

独特的转子设计和怠速功能，实现节能和小型化。 它有助于降低运营成本。 耐腐蚀材料选项可用于广泛的应用，从负载锁和 SEM 等轻负载应用到腐蚀性工艺。

型		单位	ESR20N 系列	ESR30 系列	ESR30N 系列	ESR500W（N）
抽速		升/分钟	1,300 ~ 2,000	3,000	3,000	46,000
极限压力		帕	2	0.53	0.67	0.2
连接直径	进气口		西北 40	西北 50	西北 50	ISO160 认证
	排气口		西北 40	西北 40	西北 40	西北 40
极限压力下的近似功率		千瓦	0.7	1.7	1.7	3.1
冷却水	流量	升/分钟	2~8	3.5~8	3.5~8	3.5~8
	温度	°C	*多 30 个	*多 30 个	*多 30 个	*多 30 个
注 2	流量	帕•m3/秒	19~22 （0）	19~22 （3.4）	19~22 （3.4）	19~22 （3.4）
电源相位/电压/频率	200V 型号		三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz	三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz	三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz	三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz
	400V 型号		三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz	三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz	三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz	三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz
电源容量		千伏安	4	7	7	12.3
近似质量		公斤	90	190	190	500