产品详情
  • 产品名称:EBARA荏原 干式真空泵

  • 产品型号:EV-S50
  • 产品厂商:EBARA荏原
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简单介绍:
EBARA荏原 干式真空泵 EV-S50,北崎有售,欢迎咨询。
详情介绍:

EBARA荏原 干式真空泵 EV-S50

EBARA荏原 干式真空泵 EV-S50


产品介绍

通过**转子设计与怠速功能,节能和小型化达到世界**水平。有助于降低运行成本。此外,还可选择耐腐蚀性材料,从预真空锁、SEM等轻负荷用途到腐蚀性工艺,能够广泛满足各种不同应用需求。

规格

设备名称 单位 EV-S20 EV-S20P/N EV-S30 EV-S30P EV-S50 EV-S50P/N EV-S100 EV-S100P/N EV-S200 EV-S200P/N
排气速度 L/min 1,670 1,670 3,300 3,300 5,000 5,000 10,000 10,000 20,000 20,000
极限压力 Pa 3.0 5.0 0.5 1.0 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5
连接口径 吸气口 NW50 NW50 NW50 NW50 NW50 NW50 NW80 NW80 NW100 NW100
排气口 NW25 NW25 NW25 NW25 NW25 NW25 NW25 NW25 NW40 NW40
极限压力时功率概值 kW 0.4 0.4 0.4 0.4 0.55 0.55 0.65 0.65 0.75 0.75
冷却水 流量 L/min 1.5~3.0 1.5~3.0 1.5~3.0 1.5~3.0 2.0~3.0 2.0~3.0 2.0~3.0 2.0~3.0 2.0~3.0 2.0~3.0
温度 Max. 30 Max. 30 Max. 30 Max. 30 Max. 30 Max. 30 Max. 30 Max. 30 Max. 30 Max. 30
N2 流量 Pa•m3/s - 17~20 (2.4) - 17~20 (2.4) 17~20 (2.4) 17~20 (2.4) 17~20 (2.4)
电源 相/电压/频率 200V机型 三相/200-220V,50/60Hz 三相/200-220V,50/60Hz 三相/200-220V,50/60Hz 三相/200-220V,50/60Hz 三相/200-220V,50/60Hz 三相/200-220V,50/60Hz 三相/200-220V,50/60Hz 三相/200-220V,50/60Hz 三相/200-220V,50/60Hz 三相/200-220V,50/60Hz
400V机型 三相/380-440V,50/60Hz 三相/380-440V,50/60Hz - - 三相/380-440V,50/60Hz 三相/380-440V,50/60Hz 三相/380-440V,50/60Hz 三相/380-440V,50/60Hz 三相/380-440V,50/60Hz 三相/380-440V,50/60Hz
电源容量 kVA 3.2 3.2 3.6 3.6 4.8 4.8 6.4 6.4 6.8 6.8
质量概值 kg 60 60 90 90 100 100

EV-S型

节能、省空间的干式真空泵

节能
小型、轻量
耐腐蚀性材料选配件
可选择氮气吹扫机型
在不同频率(50/60Hz)下性能一致
无油
可满足CE标示/SEMI-S2/NRTL要求



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