产品名称：TSI美国高流量 Turbo II 蒸发器 2852PE

TSI美国高流量 Turbo II 蒸发器 2852PE

TSI美国高流量 Turbo II 蒸发器 2852PE

MSP 的 Turbo II™ 气化器 2852PE 专为需要中低蒸汽流速的高精度微电子应用而设计。新型 2852PE 基于经过现场验证、高度可靠且维护成本低的 MSP 涡轮蒸发™器，可提供稳定的蒸汽浓度，同时保持非常小的占地面积。2852PE 还具有一个板载流量控制阀，可实现极快的流量响应。

尺寸 （高 x 宽 x 深）	198 毫米 x 84 毫米 x 114 毫米（7.8 英寸 x 3.3 英寸 x 4.5 英寸）
重量	2.5 千克（5.6 磅）
配件（在设备上）	载气入口	1/4 英寸VCR 内螺纹开口螺母
	液体入口	1/8 英寸录像机母头
	蒸汽出口	1/4 英寸VCR 内螺纹开口螺母
	压缩空气	4 mm 即时卡套管接头
接液部件	SS 316、PEEK、PTFE、Elgiloy®、FFKM
泄漏完整性	≤ 1x 10-8帕米3/s 氦
加热器功率要求1	208 伏交流、60 Hz、450 W
载气	建议使用惰性气体
*大载气流量1	2.0 标准升/分钟 N2@ 50 磅/平方英寸
*大液体流量2	7 克/分钟（TEOS 或同等产品）
系统压力限制	150 磅/平方英寸
压缩空气	90 至 110 psig
温度范围3	40°C 至 180°C
温度传感器	2 型 Ƙ 热电偶
辅料	随附电源线

规格如有更改，恕不另行通知。

1*大载流、加热器功率 （W） 和线路电压可在工厂调整，请访问 www.tsi.com/contact 获取更多信息。
2*大液体流量取决于工艺。该规格假设汽化器温度为 180°C，*大载气流量和气化器下游压力为 <50 Torr。
3需要适当的通风。