产品名称：JAI分析工业 扁平盘用除气除气器

FD-4000DF 扁平盘用除气除气器

在直径达 100 mm 的扁平 Mr./Ms 表面收集挥发性成分（有机污染物）。 （矩形拉手*大 70 毫米）

我们使用成熟的收集方法来收集硅晶圆的挥发性有机污染物。

操作简单，可可靠地收集痕量挥发性成分。

烤箱加热温度高达400°C。

内置水冷流路用于腔室冷却，冷却水循环装置（可选）用于快速冷却。

使用我们的大容量收集管进行收集（也可以与其他公司生产的样品管兼容）。

设备规格

FD-4000DF
假定 Mr./Ms. 形状	例如HDD磁盘（0.8~3.5英寸为可能）
样品烘箱数量	1 件
试样室材料	不锈钢 （SUS316L）
罩	惰性烤盘
烘箱加热温度	室温 ~ 400°C
烘箱加热方式	电阻加热方式
密封方式	特殊环（特氟龙）
保障	配备 急停开关， 具有 防止每个加热器过热的功能，配有漏电断路器
吹扫气体的种类	他或氮气
吹扫气体的原始压力	0.5MPa（5Kgf/cm2）以上
吹扫气体流速	500mL/min（*大）
加热设置时间	长达 99 小时 59 分钟（可以 1 分钟为增量安装）
尺寸和重量	烘箱部分：500 （W） × 700 （H） × 500 （D） mm， 约 45 kg
	控制器部分：360 （W） × 205 （H） × 500 （D） mm，约 10 kg
	阀单元：360 （W） × 175 （H） × 500 （D） mm，约 10 kg
权力	100V/20安培
水冷功能	标准设备（可选配冷却水循环装置）