产品详情
  • 产品名称:ADVANCE RIKO先进理工 红外灯退火设备

  • 产品型号:RTA-2000
  • 产品厂商:ADVANCE RIKO先进理工
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简单介绍:
10秒达到目标温度! 我们相信我们的红外灯加热具有高能量密度、近红外线、高热响应、温度可控、真空清洁加热等特点。可容纳 2 英寸(50 毫米)至 12 英寸(300 毫米)晶圆的产品阵容。 我们通过 RTA 系列提供所需的热处理配方(加热/冷却)和气氛(真空或气体)来满足客户需求。
详情介绍:
  • 离子注入后激活退火
  • 氧化膜生成退火
  • 欧姆电极的合金化
  • PZT 和 SBT 等铁导体薄膜的结晶退火
  • 硅片施主杀手处理
  • 硅化物形成、自对准硅化物形成
  • 发光元件及半导体激光基板的热处理
  • 超浅键形成
  • 铁电电容器成膜
  • 栅极氧化膜形成
  • 加热速度可达200℃/s
  • 提供 C 到 C 机器人传输系统
  • 可连接至半导体制造设备
  • 灯区输出控制,允许浸泡多张纸
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