产品详情
  • 产品名称:NAPSON纳普森全自动输送晶圆分选系统

  • 产品型号:NC-6800
  • 产品厂商:NAPSON纳普森
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简单介绍:
NC-6800非接触式全自动带式输送晶圆分选系统 (涡流法)
详情介绍:

产品特性和功能

多点测量
多点多点测量
非接触式
非接触式非接触式
电脑和软件
电脑和软件
Full Automatic
全自动全自动型

电阻率、厚度和 PN 判断的全自动非接触式测量

  • 电阻率采用涡流法,厚度采用电容法。
  • 适用于硅晶圆、GaP 和 InP 等化合物半导体的生产控制
  • 具有温度补偿功能的温度计(硅片)
  • 磁带的数量可以根据您的要求而多

可选:额外安装晶圆平整度测量仪(FLA-200)

测量规格

测量目标

  • 半导体和太阳能电池材料(硅、多晶硅、碳化硅等)
  • 化合物半导体(GaAs Epi、GaN Epi、InP、Ga等)

目标大小

3~8寸

测量范围

[电阻率] 1m~200Ω·cm (*所有探头类型的总量程/500um厚度)
[片状电阻] 10m~3kΩ/sq (*所有探头类型的总量程)
[厚度] 300~1,200μm

*每种探头类型的测量范围请参考以下内容。
(1)低:0.01~0.5Ω/□(0.001~0.05Ω·cm)
(2)中:0.5~10Ω/□(0.05~0.5Ω·cm)
(3)高:10~1,000Ω/□(0.5~60Ω·cm)
(4)S-高:1,000~3,000Ω/ □(60~200Ω·cm)

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