产品详情
  • 产品名称:DIAVAC日本大亚油扩散泵

  • 产品型号: DPA-22
  • 产品厂商:DIAVAC日本大亚
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简单介绍:
节能泵(内部热加热器),与传统产品相比,功耗降低40%(DPF系列)
详情介绍:

■节能泵(内部热加热器),与传统产品相比,功耗降低40%(DPF系列) 

与传统泵相比,重量减轻至1/2,重量轻巧,结构紧凑。

■ 采用可更换的内部加热器 

■ 与传统产品(DPF系列)相比,上升时间缩短至1/2 

■ 结合喷射器作用的射流显着增加了临界背压

■ 大型气相沉积设备、溅射设备等

■ 用于真空热处理炉、真空熔炼炉、真空钎焊炉等。
■ 各种真空排气系统
DPA-18型
极限压力 (Pa)

< 3.0×10-5

额定抽速(L/sec)
无挡板

9000

有效抽速(L/sec),
无挡板 *注1
8000
有效抽速(L/sec) 百叶窗
挡板 *注1
4600
回流速率(mg/cm2·min) 进气
压力 10-5~10-2 Pa
百叶窗挡板
×10-5~×10-4
空载临界背压 (Pa) *2 59
功率要求 (kW) 3φ 200V 3.5
上升时间(分钟) 30
需水量 (L/min) 5
重量 (kg),包括挡板 110
离地面总高度 (mm),
包括挡板
840
标准液压油容积 (L) Lion S 2.2
进气法兰 VG 450型
排气口法兰 VG 100型

DPA-22型
极限压力 (Pa)

< 3.0×10-5

额定抽速(L/sec)
无挡板

13000

有效抽速(L/sec),
无挡板 *注1
12800
有效抽速(L/sec) 百叶窗
挡板 *注1
6900
回流速率(mg/cm2·min) 进气
压力 10-5~10-2 Pa
百叶窗挡板
×10-5~×10-4
空载临界背压 (Pa) *2 65
功率要求 (kW) 3φ 200V 5.4
上升时间(分钟) 30
需水量 (L/min) 7
重量 (kg),包括挡板 167
离地面总高度 (mm),
包括挡板
960
标准液压油容积 (L) Lion S 3.0
进气法兰 VG 550型
排气口法兰 VG 150型

DPA-24R型
极限压力 (Pa)

< 2.0×10-5

额定抽速(L/sec)
无挡板

16000 *注3

有效抽速(L/sec),
无挡板 *注1
13200
有效抽速(L/sec) 百叶窗
挡板 *注1
7900
回流速率(mg/cm2·min) 进气
压力 10-5~10-2 Pa
百叶窗挡板
×10-5~×10-4
空载临界背压 (Pa) *2 65
功率要求 (kW) 3φ 200V 6.6
上升时间(分钟) 30
需水量 (L/min) 10
重量 (kg),包括挡板 210
离地面总高度 (mm),
包括挡板
1050
标准液压油容积 (L) Lion S 3.5
进气法兰 VG 600型
排气口法兰 VG 150型

DPA-28R型
极限压力 (Pa)

< 2.0×10-5

额定抽速(L/sec)
无挡板

20,000 *注3

有效抽速(L/sec),
无挡板 *注1
17700 *注3
有效抽速(L/sec) 百叶窗
挡板 *注1
9800
回流速率(mg/cm2·min) 进气
压力 10-5~10-2 Pa
百叶窗挡板
×10-5~×10-4
空载临界背压 (Pa) *2 67
功率要求 (kW) 3φ 200V 8.0
上升时间(分钟) 30
需水量 (L/min) 上回路 3 或更高,下
回路 9 或更多
重量 (kg),包括挡板 250
离地面总高度 (mm),
包括挡板
1170
标准液压油容积 (L) Lion S 4.5
进气法兰 VG 700系列
排气口法兰 VG 200型

DPA-36R型
极限压力 (Pa)

< 2.0×10-5

额定抽速(L/sec)
无挡板

37,000 *注3

有效抽速(L/sec),
无挡板 *注1
28200 *注3
有效抽速(L/sec) 百叶窗
挡板 *注1
17,000 *注3
回流速率(mg/cm2·min) 进气
压力 10-5~10-2 Pa
百叶窗挡板
×10-5~×10-4
空载临界背压 (Pa) *2 61
功率要求 (kW) 3φ 200V 12.0
上升时间(分钟) 40
需水量 (L/min) 上回路 5 个以上,下
回路 13 个以上
重量 (kg),包括挡板 440
离地面总高度 (mm),
包括挡板
1520
标准液压油容积 (L) Lion S 8.0
进气法兰 VG 900系列
排气口法兰 VG 200型

*请使用入口侧至少 10ºC 的冷却水温度和出口侧的 30ºC 或更低的冷却水温度。 (无冷凝)
*注1 符合
JIS B 8317-1:1999*注2 符合
JIS B 8317-2:1999**注3对应出口贸易管制令的限制货物清单

*外观和规格如有更改,恕不另行通知。

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