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产品详情
简单介绍：
使用质谱仪对脱离气体定性分析，通过四极质谱仪分析红外镀金聚焦炉使试料升温时，试料温度与放出气体的关系。
详情介绍：
使用质谱仪对脱离气体定性分析，通过四极质谱仪分析红外镀金聚焦炉使试料升温时，试料温度与放出气体的关系。
特点
- 质谱分析可以在10 -5 Pa的高真空下进行测量。
- 红外灯加热，石英反应管是冷壁，几乎没有排出的气体。
- 具有从高速加热到低速加热的广泛设置范围，可实现多步加热和循环加热。
用途
- 真空油脂、O-ring等各种真空材料的评估
- 半导体晶圆，芯片评估
- 合金，陶瓷，固体材料等的微量气体分析
规格
| 温度范围 | 室温 ~ 1000°C |
|---|---|
| 样本量 | □20 × t2 （毫米） |
| 大气层 | 真空 |
| 加热方式 | 抛物面反射红外管加热方法 |
| 温度传感器 | 热电偶 （JIS “K”） |
| **真空 | 范围 10-5Pa（烘烤 8 小时后） |
| 质量量的测量范围 | 1~200AMU |
| **卫士 | 冷却水 • 漏电 （ELB） |
| 敏感性 | 4A/PA型 |
| 分辨率 | M/△M=1M（10%P.H.） |
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